光学石英玻璃纳米级加工性能.pdfVIP

第 22卷 第 11期 光学 精密工程 VoL22 No．11 2014年 I1月 OpticsandPrecisionEngineering NOV．2O14 文章编号 1004—924X(2014)11-2959—08 光学石英玻璃纳米级加工性能 郭晓光，翟昌恒 ，张 亮，金洙吉，郭东明 (大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连 116021) 摘要 ：提出了一种石英玻璃仿真模型的构建方法 ，并应用分子动力学 (MD)仿真结合纳米压痕实验对石英玻璃进行 了纳 米级加工性能的研究。通过计算石英玻璃模型的密度和纳米硬度 ，验证 了模型的准确性 。对石英玻璃进行 了纳米压痕 实验 ，得到了压痕曲线并观察了纳米压痕形貌。最后，对纳米级压痕过程进行了仿真，通过计算配位数研究了损伤层的 形成及扩展机理 。计算得到的石英玻璃模型的纳米硬度约为 9．7～l0．7GPa，密度约为2．28g／cm。，与实际测量结果基 本一致。仿真结果表明：石英玻璃有着稳定的塑性变形和少量的弹性变形，且存在压痕的尺寸效应。当压头压下时会形 成大量 的原子稠密区，失去原来共价键 的强度 ，形成损伤层 ；而表面形貌主要是 由于压头 向两侧挤压原子和压头的黏附 作用形成 的。仿真和实验结果都表明石英玻璃 比较适合超精密加工。 关 键 词 ：光学玻璃 ；石英玻璃 ；纳米压痕；分子动力学；超精密加工 中图分类号 ：TQ171．731 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2959 Nano。。processingperformanceofopticalglass GUOXiao—guang，ZHAIChang—heng ，ZHANGLiang，JIN Zhu—ji，GUODong—ming (KeyLaboratoryforPrecision Non—traditionalMachiningoftheMinistryofEducation， DalianUniversityofTechnology，Dalian116021，China) *CDrr 0 gauthor，E-mail：zhaich89(126．corn Abstract：A method for constructing the models of quartzglass was proposed to improve the processabilityofquartz glass，and Molecular Dynamics(MD) simulation combined with nano— indentation experimentswereperformed toresearch on nano—processing performanceofthequartz glass．Theaccuracyofthemodelwasverifiedbycalculating thedensityandhardnessofthequartz glass．Then the nano—indentation experimentwas conducted to obtain indentation curves and to observethemorphologyofindentation．Finally，aM D simulationofnano—indentationwasperformed and theformation and extendingmechanism ofadamage layerwasinvestigated．According to the calculationofdensityandnano—hardness．itshowsthatthedensityisabout2．28g／cm。andnano— hardnessiSabout9．7— 10．7 GPa，which iSalmostconsistentwith the experimentalresults．The experimentsindicatethatthequart