利用激光干涉仪修正仪器定位误差的方法【精选】.pdfVIP

团固匹唾猛殛 仿■，建礞 ICADICAMICAEICAPP 利用激光干涉仪修正仪器定位误差的方法 杨福来， 刘江省 哈尔滨量具刃具集团有限公司，哈尔滨 150040) 摘 要：介绍了一种利用激光干涉仪修正测控仪器运动轴定位误差的方法，着重从误差数据采集、误差数据处理和误差 修正软件的编写3个方面，阐述了误差修正方法的具体设计和实施过程。 关键词 ：激光干涉仪 定位误差修正；最]j~--乘法 中图分类号：TG807 文献标志码：A 文章编号：1002—2333(2014)07—0129-02 CorrectionM ethodofInstrumentPositioningErrorUsingLaserlnterferometer YANGFulai， LIUJiangsheng (HarbinMeasuring GutlingToolGroupCo．．Lt(I．．HalI)in150040．China) Abstract：A errI】rCOl’re(tionmethodf1)rmovingaxispositioningofmeasurementandcontrolinstrumentsbyusinglaser intefferometet’COl’reetion is introduced．the spe(·ific designsand implementation processesfor’the errorCOl1’‘ection rneth(’(1：．Ire (1eStr·ibed mainly from threeaspects，namely err’ordata collection，errordataprocessingand suftwal’e I)rograrnnlingoferrorC‘Olr‘eetion． Keywords：lasel’inte~’ferometer；correctionofPr1’orpositioning；leastsquaremethod 0 引 言 差数据，我们必须要选择合适的检具。对于直线运动的误 衡量仪器设计质量的关键是仪器精度 ．而仪器精度义 差数据采集 ，最常用的检测一具有成组量块 、金属线纹 是靠仪器误差的大小来衡量的，所以提高仪器精度的关键 齿 、步距规 、准直仪等，但这些传统检具存在着精度不高、 在于降低仪器误筹 为 J便于对误差进行分析研究和处 误差采集效率低的缺点。随着科技的发展，使用激光干涉 理 ，人们对误差按其数学特征 ．将误差分为随机误差、系统 测量仪作为检具已越来越普遍，激光干涉仪具有测量功 误差和粗大误差一大类 ，其中系统误差 由一些稳定的误差 能丰富、精度高等优点，而且还可以通过配套的软件完成 因素所造成，其数值的大小和方向在测量过程中恒定不变 误差数据的自动采集和修正，既节省了大量时间，又避免 或按一定的规律变化．．一般来说，系统误差可以用理论计 了手T计算和手动数控键入而引起的操作误差，同时还 算或实验的方法求得，也可以预测它的出现，并可以进行 可最大限度地选用被测轴 }：的误差修正点数，以此达到 调整和修 ，而另外两种误差则很难找到规律进行处理。 最佳修正精度的 目的。 所以要想提高仪器的精度，除了依靠加T、装配精度外，采 综上所述 ，我们选择了应用较广的雷尼绍 MLl0型激 用软件修订：补偿技术处理仪器的系统误差，也能在提高仪 光干涉仪及相关附件作为检具进行误差数据的采集。具体 器精度和改善仪器性能办而收到良好的效果。 的实验平台搭建方法如图l所示：激光光束南MLl0激光 通过对仪器精度的分析，nr以知道仪器各运动轴的 干涉仪 2发出，经过反射镜 、干涉镜的折射再返 回到 定位误差，是影响仪器整体精度的重要系统误差之一，如 果能够通过实验方法得到各运动轴在行程范罔内的误差 值，并利用软件误差处理-j修正补偿技