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2017-08-10 发布于河北
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维普资讯第26卷第 6期兰州交通大学学报 (自然科学版 ) Vo1．26No．6 2007年 l2月 JournalofLanzhouJiaotongUniversity(NaturalSciences) Dec．2007 ArticleID：1001—4373(2OO7)O6—0163—02 PreparationofTiOxFilmsbyCathodeM ultiArc IonandItsPerformance FanDuojin， FanDuowang。， WangChenglong， LiuHongzhong。 (1．|．srlzhour)achenAutomatlcControlSystem Co．．1．td，Imnzhou730070．China；7．keyIa1)oratoryofOpto-gleetronie TechnologyandIntelligeneeCo ntrol，MinistryofEducation，1．anzhouJiaotongUniversity，1．anzhou730070，China； 3．StateKeyLaboratorYforManufacturingSystemsEngineering，Xi’anJiaotong University，Xian710049，China) ExperimentalProcedure Fig．1showsthecustom—madeCathodeMultiArcIonequipment，whichismadeupofthreepars：CCS (computercontralsystem ，Fig．1sleftpart)，Vacuum Chamber(Fig．1smiddlepart)andAirPumpparts (Fig．1Srightpart)． Thesurfacetopography，microstructureandcompositeofthefilmswerenaalyzedwithhighresolution~ 11l- ningElectronMicroscope(SEM)．X-rayDiffraction(XRD)nadEnergyDepressivesSpcetrometers(EDS)． Mnm 啦 ! Aschematicdiagramofexperimentalsetup Fig．2 AbsorptionspectraofTiO,dfilm ontheglass ResultsandDiscussion Fig．2showstheabsorptionspectrum ofTiO film sputtingontheglass．Itsmainpeakiaat290nm，and inrangefrom 400nm to500nm，thereisahighreflectrate，SOthefilmscolourisgolden．Fig．3showsthe SEM morphologyoftheTiO compositecoating，whichisdense，andhomogeneousanditsparticlesizeisa— bout10～50nm．Also，theEDSspectrum (Fig．4)offilm showsthecomposites0fcoating，accordingthe formula，thefilm thicknessisabout1．5grrLThehighdepositspeedowetothehomemadecoatingequip— ment，whichiSmadeupof26一arcsource．