常压化学气相沉积硅镀膜玻璃结构、表面形貌和光学性能比较研究.pdfVIP

第18卷 材料科学与工程 增刊 V01．18 Materials ScienceEngineeringSep．2000 常压化学气相沉积硅镀膜玻璃结构、表面形貌与 光学性能比较研究‘ 莫建良1，朱文斌2，刘峰1，王昕1，张溪文1，韩高荣1’2 (1浙江大学材料系，杭州310027； 2浙江大学科技园。杭州310027) 【摘 要】 及薄膜厚度的测试，研究了常压化学气相沉积法硅镀膜玻璃硅薄膜的结构、表面形貌(颗粒数量、大小 和分布)对镀膜玻璃反射率、透射率的影响。研究发现不同的制各工艺(沉积温度和基板走速)对薄膜 的平均反射率和平均透过率有很大的影响，通过控制合适的工艺参数可以制得具有纳米颗粒镶嵌结构的 复合薄膜。具有此种形貌结构的薄膜能在基本部增大透过率的情况下有效减少薄膜镜面反射，减少光污 染。 【关键词】 常压化学气相沉积硅镀膜玻璃表面形貌光污染 膜玻璃强烈的镜面反射带来的环境污染(光污染) 1引 言 问题越来越重视。解决建筑镀膜玻璃引起的光污 染问题已成为阻碍镀膜玻璃发展的关键。本文着 重从薄膜表面结构形貌对薄膜反射率和透过率的 以普通玻璃作为现代建筑的窗玻璃或幕墙玻 影响出发，研究适当的制各工艺，制各出既有一 璃，具有采光充分、外观典雅优美的特点。但是， 定的透过率，又具有较小镜面反射的镀膜玻璃， 由于普通玻璃对太阳辐射具有过高的透过率(约为 以达到降低光污染的目的． 90％)，也能透过近红外线和部分波长的紫外线 【¨，导致夏天建筑物内太阳能增益过大，温度过 高，冬天建筑物内红外辐射损失过多。温度过低， 2实验方法 这样必然要极大地增加空调费用：另外，普通玻 璃也不能有效地保护人们的隐私。因此，能效玻 璃的概念就被提了出来，其中英国皮尔金顿公司 本实验在自制的模拟浮法玻璃在线镀膜工艺 的硅烷热分解法制备的镀膜玻璃具有很大的优势 的常压化学气相沉积系统中进行，原料气为N：稀 121。 然而，随着人们生活水平的提高，人们对镀 通5mm厚的白玻。实验过程中基板固定在石英管 ’本研究得到国家自然科学基金和教育部跨世纪优秀人才培养计划基金资助 ·646· 的恒温区．反应气体在混气室混合均匀后从匀速 的特点，即反应物到达基板表面后若不反应成膜 移动的喷头喷出，喷头走速即为实际生产线的基 的话立刻被机械泵抽走，没有停留时间，所以可 以认为在其他条件不变的情况下温度对薄膜的影 扳走速。实验时C：H。／Sill．比例不变(约为0．5)． 分别改变沉积温度和喷头走速。用HREM 响主要是影响薄膜的结构调整。对薄膜成膜速 率、厚度基本没有影响