准分子光源应用简介.pdfVIP

回垄塑!墼奎!矍 准分子光源的应用简介 李敏张善端 复旦大学电光源研究所 摘要：介绍了准分子光源的原理结构及其在紫外固化、材料沉积、薄膜制各、材料表面改性和污染控制等领域 的应用和最新研究成果。 关键词：准分子光源紫外固化材料沉积表面改性污染控青I 准分子灯可以在不同的紫外波段提供高强度的 的放电．况且也易于投人实际应用。准分子光源在紫 窄带辐射，并能达到较高的效率。使用准分子有如下 外固化、材料沉积、薄膜制备、材料表面改性和污染 优势：准分于是一种将电于的动能转换成紫外辐射的 控制等方面有非常广泛的应用f如图21。而且随着科学 有效媒介；准分子体系内没有自吸收；在大多敬情况 的进展和高新技术的开拓，准分子光源正在不断显示 下，准分子的组成气体能够提供一种主要的窄带辐 出它的新的活力。 射：准分子能够在饱和效应限制其自发辐射之前就达 到相当高的功率密度．因此可能做出特别强的紫外和 真空紫外光源；可以制造出不同类型的准分子灯，如 高功率脉冲放电，微波放电和介质阻挡放电(或称无声 放电)。在太规模的工业应用中。介质阻挡放电是准分 子灯十相当简单也是使用最多的形式(如阁1k准分子 灯刚问世不久之后．人们认口l到这些新型的紫外和真 空紫外光源将有着很多的=】二、№应用…。 匮：一 圉2准分子光源的应用 泽睁骨 二、准分子光源用于紫外固化 相对于其他的光源。准分子灯提供特定波段的 图l常见的、F板和目I柱形介质阻挡放电结掏 选择性强紫外辐射。这种窄带的紫外辐射能够激发化 学反应．使分子键断裂和改变材料的表面性质。紫外 一、准分子灯的原理与结构 波长越短．物质对其吸收越强烈。所以，在许多情况 准分子光源是一种非相干性光源。这种光潭的发 下．紫外辐射都被非常薄的表面层吸收丁。正如其他 光源不是原子也不是一般的分子．而是所滑的准分子。 的紫外光源，准分子灯可以用来引导特定的涂料、清 准分子是一种处于激发状态的双原于分子，它的存在 漆、胶黏剂等的光聚合反应，这个过程就是被称作紫 时问很短f纳秽量级1．马上通过自发辐射跃迁同到能量 外固化； 轻小的状态并辐射出光子，并分解为原子。准分子在 准分子灯能够在低温下产生大面积强烈的窄带 通常条件下不能稳定存在的分子。它们只有在特殊的 紫外辐射，却不产生臭氧，这立即导致了被应用在使 气体放电条件下才能出现。迄今知道．这类放电可以是 用高速快干紫外印刷墨水的印刷机上。德国Leipzig用 高频放电、傲渡放电、脉冲放电、介质阻挡放电等。 xeCI’或KrCI’紫外光灯装备它们的高速印Ⅱf机”…，在提 就效率、功能和可塑性等荣件分析，研究实践证明介 高油墨固化速度的同时，也消除困汞灯的红外辐射对 roW／ 质阻挡放电能生成准分子，它是比较成熟、而且合适 热敏感基材可能造成的损伤『如罔3)。川单排200 cm4XeCa玎(30Srim)装备的高速印刷机．印刷速度可达学涂层。由于这些薄膜是在室温下获得的，因此可以 8000张m，相当于300n／rain。若以更短波长的KrCI‘灯用做租软或怕热的物质的防反射保护层，例如光学有 (222删)或xq‘lT(172nm胙裳外光源．丙烯酸醋基油墨 机非线性晶体。由于相对于准分子撇光来说准分子灯 无需添加光引发{f町．可由紫外辐射引发油墨的交联固 的辐射通量很低，那么在照射时薄膜受到的热损伤就 化。