准分子光源应用最新研究进展.pdfVIP

准分子光源应用最新的研究进展 Thelatest and of excimerVUVradiation applications investigations 姜松陈古源刘克富 复旦大学电光源研究所 摘要：准分子光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术。本文介绍了准分子紫外光源在材 料加工以及废水废气处理等方面的最新研究进展。 关键词：准分子紫外光源材料表面处理废水处理 ofVUV sourcesbecomeessential inseveralindustrialfields． Abstract：Applicationslight technologies Inthisarticle．we concentrateonthelatest ofVUV sourceon maymainly applicationslight treatmentofsubstratesand waterandair． polluted Treatment Keywords：Excimer；UV1ight；SurfaceTreatment；Wastewater 准分子是一种处于激发状态的双原子分子，不存在 (稀有气体原子与电子发生碰撞电离) 稳定的基态；它的存在时间很短，通常情况下只有纳秒量 e+X2—}X+Xm 级，然后马上通过自发辐射跃迁回到能量较小的状态辐 (卤素分子分解为原子和负离子) 射出光子，最后分解为原子． Rg++X2_÷RgX串+X 准分子一般包括稀有气体(R92*)、卤素(X2幸)、稀(Harpooning反应形成稀有气体一卤素准分子) 有气体一卤素(Rgx半)以及汞一卤素(Hgx宰)二聚物．稀有气Rg++X一+M—Rg)(木+M 体准分子He2*、Ne2*、Ar2*、Kr2*、Xe2*的波长分别 (三体碰撞形成稀有气体一卤素准分子) 为74、84、126、146、172nm、卤素受激分子F2*、 RsX*-+Rg+X+hv C12．、Br2*和12的波长分别为158、259、289、342 准分子光源按用途可以分为两大类．第一类是照明 nm；而稀有气体一卤素(RgX*)准分子波长如表1所 示。 用途，即把准分子光源做成对环境无污染的无汞光源，如 表1稀有气体卤化物准分子的辐射波长 ；另一类是非照明光源，即紫外光 源，如引用水的杀菌、消毒，介质 表面的改性，光清洗，集成电路的 刻蚀，污染物的降解等都需要各 种特定波长有效的紫外辐射．虽 然传统低压汞灯的254am的辐 F 108 193 249 354