全息超高频光栅制作方法.pdfVIP

第27卷第荭期 光子学报 V01，27No．盈 1998年9月 ACTAPHOTONICASINICA Septl998 全息超高频光栅制作方法 王朝阳 戴福隆 (精华太学工程力学系光测力学实验塞，北豪100084) 1引言 近十几年来，细微观科学技术的发展要求相关测量具有极高的分辨串与灵敏度．在 萋于光栅为关键元件豹光学测量方法中，～测量的分辨率与灵敏度往往决定于光栅的颓 率。一般来说，光栅的频率越高剥测量的分辨率与灵敏度也越高，因而超高频光栅的研 制具有重要的意义。 传统的光栅制栅途径有机刻和光刻两种．由于机刻的方法不仅费时和昂贵，而旦所 刻光栅频率比较低，因而高频光栅的制作主要是采用激光全息干涉系统和光致刻蚀剂述 行激光刻蚀光栅，其频率一般可高达2400线，毫米．然而，这仍然不能达到目前细微观 测量所需要的程度． 近些年来，扫描电子显微镜(sEM)和扫描隧道显微镜(Sn巾的广泛应用，使得人们 可以利用电子束与电子扫描探针在金属表面刻蚀高达10000线，毫米以上的光栅。虽然 频率可以满足细微观测量的需要，但光栅面积的过小阻碍了它的实际应用． 本文拟在已有的激光全息制拯基础上，建立一种新的方法，使得所制的光栅能满足 细微观超高分辨率与灵敏度测量的需要． 2折射率介质传光制栅方法与原理 2．1全息制栅原理 全息光栅的制作原理如图1所示，两柬准直的激光O)和02以一定的角度29在空 间相交时，在其相交的重叠区域将干涉形成明暗交替的平行等间距条纹面，条纹的频事 与双光束的夹角2妒和光源的波长九有关，并由下式决定： f：婴 … ～ 九 将涂布有感光乳胶的全息干版或光刻胶板垂直于两光束夹角平分线放入重叠区暴 ～光，经显影定影后即可得到全息光栅c ～ ．二；!。；。。 由(1试可知，全息光栅频率的极限为2，九，若要获得全息超高频光栅，就需要尽 量减小波长。减小波长有两种方法：一种是采用短波长的激光器如准分子激光器秘絷辩． 激光器等，或是将激光器倍频，经其波长减小一半：另外一种方法是利用光束在折射率 为n的折射率介质内部传播时，其波长减小n倍(n为介质的折射率)，即 九。=九。／n。实际制栅过程中，两种方法结台使用。 收稿日期：1998—07—05 l，4 光 于 学 报 27卷 图1 全息光栅制作原理 图2折射奉介质传光制栅系统示意图 2．2折射率介质制栅方法 本文提出了一种新的方法，同已有的折射率介质制栅方法相比。具有简便、有效、 制栅精确等多方面显著的优点。全息制栅光路系统如图2所示。 可以证明，所获得的光栅频率将等于两倍母栅频率(而线／ⅡIIn)和斜入射光路所获光 橱频率(毛线，mm)之和：}2毛+毛．证明如下： 入射角为d，波长为^的光柬，透过频率为矗的光栅后，根据光栅衍射方程可知， 在折射率介质中的一级衍射光衍射角为： i SkO=(sincc+‘九)-二 (2) n 据(1)、(2)式，可得介质内两京光形成的光岛频率为： ．2Sille2S．皿e；!呈：!塑