全自动在片直流测试技术对提高GaAS+MMIC批量生产成品率的作用.pdfVIP

Vol 4 第6卷第4期 功能材料与器件学报 6．No AND Del,2000 2000年12月 JOURNALOFFILNClIONALMA’FERIALS1)EV]CES 文章编号：1007—4252(2000)04—0444—04 全自动在片直流测试技术对提高 GaAs MMIC批量生产成品率的作用 吴振海， 郝西萍， 蒋幼泉， 陈新宇 (南京电子器件研究所，南京210016) 摘要：成品率高低是批量生产能否进行的关键。采用全自动在片直流测试，对参数 进行统计分析，能判断成品率是否正常，并帮助找出影响成品率的原因。本文介绍了 行之有效的测试统计和分析技术。 MMIC 关键词：成品率；在片测试；GaAs 中圈分类号：TN306文献标识码：A 1 引言 在CaAs微波器件和单片电路的批量生产中，在片直流测试是GaAs器件工艺制作中的重 要环节，它通过测试和统计分析器件直流参数，对器件制作各工艺的水平作全面系统的评估， 并将信息反馈至各工艺，能指导工艺制作水平的改进，监控工艺的稳定性．确保批量生产中产 品的高成品率。而没有高成品率，就不可能进行批量生产。我们在国内率先将测试统计和分 析技术运用于GaAs微波器件和单片电路的批量生产中。 2 全自动在片直流测试技术 众所周知，测试样品数越大，越能系统全面地反映样品的真实情况。传统的手工直流测试 技术采用随机或少数定点的方式进行器件特性的测量，这在GaAs小片工艺中应用比较广泛。 GaAs单片产品和批量化生产发展。在这种情况下，传统的直流测试技术对3irtch以上的GaAs 工艺缺乏全面而系统的评估，这在GaAs产品由试验室研制向批量化生产过渡期间，矛盾尤为 突出。而要在太片上测试大量的单个器件并存储测试结果，手工测试已不能满足要求。因此， 计算机辅助测试技术应运而生。在片测试是在器件制作完成后，测试大片上的所有单个器件 的直流参数，统计测试结果，作出各器件直流参数在大片上的平面分布图，并由此统计成品率， 评估和分析各工艺存在的问题。因此计算机辅助测试技术的应用，大大提高了测试精度和速 度，同时将测试数据的统计分析及时地反馈给工艺线，这样使得工艺线能在短时间内提高并稳 定成品率，大大降低了生产成本和缩短了研制时间。 收稿日期：2000—07—20；修订日期：2000一08—28 作者简介：吴振海(1969一)，男，工程师． 4期 吴振海等：全自动在片直流测试技术对提高GaAsMMICS批量生产成品率的作用 3 测试统计与分析 在进行计算机辅助测试时，要解决的重要问题就是如何在大批量高速测试的情况下，保证 测试的精度。为此特别对夹具进行了革新，在测试过程中发现探针在长时间测试后，会产生积 累电荷影响测试精度，因此在探针进行一定数量测试后，必须对探针接地以消除寄生对测试的 影响。同时，在编写测试程序的时候对探针加电时间也进行了优化，取得了最佳加电时间。做 到了在不降低测试速度的情况下，保持测试精度。对所有得到的测试数据进行保存，并作到数 据和芯片一一对应，为做出各参数在大片上的分布图和做出分析结论做好了准备。 以南京电子器件研究所开发的手机MMICDPDT开关电路为例，MMICDPDT开关单片电 路由两组对称MSFET采用串并结构组成，采用3inchGaAs离子注人的标准工艺技术。根据 DPDT开关特点，在片测试数据取：最大饱和漏电流I。、夹断电压V，和栅击穿电压V。，并对 数据进行统计和处理。 成品率为合格芯片数和总芯片数的比值 Y=100N／Na％ N一每个大圆片上的净合格芯片数，N。一每个大圆片上的总芯片数。 正常生产时，其材料和工艺缺陷密度在各个大片上及各大片之间都应该是均匀的。由泊 松(Poisson)模型(J)，成品率为： Y=e一‘