Ag%2fZnO背反射镜在柔性nip非晶硅太阳电池中应用.pdfVIP

．476． 第十届中国太阳能光伏会议论文集 i Ag／ZnO背反射镜在柔性nP非晶硅太阳电池 中的应用 刘成。，叶晓军，王小顺，周丽华，钱子勃，陈呜波 上海空间电源研究所，上海邮编200233 摘要 靶，在不锈钢衬底上采用射频磁控溅射法制备了Ag／ZnO背反射镜。首先研究了衬底温度对ZnO膜透过率、 电阻率和沉积速率的影响，确定了最优的衬底温度。其次，研究了不锈钢衬底上Ag／ZnO背反射镜表面形貌 对电池参数的影响。最后，通过对背反射镜和非晶硅薄膜的工艺条件进行优化，制备出包含Ag／ZnO背反射 镜的不锈钢衬底nip非晶硅单结太阳电池，其短路电流密度比不含背反射镜电池提高21％，效率达到8．5％ (AM0．25℃o 关键词 背反射镜；非晶硅太阳电池；柔性衬底 ‘d_·-L i刖 舌 超薄不锈钢(stainlesssteel，简称SS)衬底上的硅基薄膜太阳电池由于可以卷曲、便于大面积连续化生产、 成本低廉，在军用和民用上都具有广阔的应用前景。然而，目前硅基薄膜太阳电池的效率较低，阻碍了其应用 市场的扩展。改善硅基薄膜电池性能的一个重要途径就是应用Ag／ZnO复合背反射镜来提高电池的短路电流密 锈钢好，尤其在不锈钢衬底电池中，由于不锈钢衬底的反射效果太差，Ag的应用会显著提高电池性能，但是 短路的前提下，又具有很好的背反效果成为难点。 机物化学气相沉淀(MOCVD)等方法制备【341，但磁控溅射法由于其工艺简单、成本低、可大面积高速沉积、 膜吸附力强而在规模工业生产中得到广泛应用。本文中利用Ag靶和ZnO：A1合金靶，在不锈钢衬底上采用射 频磁控溅射法制备了Ag／ZnO背反射镜。通过优化工艺条件，获得了比较好的背反效果，并制备出高效率的 nip非晶硅单结太阳电池。 2实 验 ‘通讯作者：刘成(1980-)，男，博士后，E-mail：thornas_liucheng@sohu。com 薄膜硅太阳电池及材料．477． 底温度在室温到250℃之间调节。 首先在透明玻璃上溅射ZnO，用透射谱来估算ZnO薄膜的厚度，厚度除以时间得到平均生长速率。用数 字万用表测量电阻值，根据经验公式得出薄膜的方块电阻和电阻率。 然后采用不同的Ag制备工艺条件，在不锈钢衬底上制备了一系列不同表面形貌的Ag／ZnO复合背反射镜 样品。采用此一系列样品做为柔性njp非晶硅太阳电池的衬底，比较了不同表面形貌的背反射镜对电池参数的 影响。其中Ag膜、ZnO膜和Ag／ZnO背反射镜的表面形貌均采用原子力显微镜(AFM)进行表征。 最后对比分析了有背反和无背反的不锈钢衬底nip非晶硅太阳电池的I—V特性。文中所提及的非晶硅薄膜 件(1353w，m2)进行测试。 3结果与讨论 3．1衬底温度对ZnO膜光学和电学特·陛的影响 在磁控溅射工艺中，气体压强、溅射功率、衬底温度等对ZnO薄膜的光学和电学特性均有较大影响。在 本文中我们固定了压强和功率参数，仅考虑了衬底温度的影响。 图l为溅射功率一定时不同衬底温度下ZnO膜的透过率比较。室温下(40℃时)的样品颜色发蓝，温度 膜的透过率明显下降，且在大于1lOOnm的长波段，透过率逐渐降低。结果表明衬底温度对ZnO膜的透过率 有重要影响。原因可能是高温利于ZnO结晶，但当温度太高，如达到200℃左右，ZnO膜的晶粒又太大，导 致光在薄膜中折射反射太厉害而使透过率降低。 一￡VⅢuo一空!^萎皱匣 图1衬底温度对ZnO膜透过率的影响 图2衬底温度对ZnO膜电阻率和沉积速率的影响 图2给出了溅射功率和时间相同的ZnO膜的电阻率和沉积速率。由于每个样品的厚度均在600nm以上， 因是温度适当升高有利于ZnO结晶，晶粒尺寸增大，晶界数量减少，载流子的浓度和迁移率均会有一定的提 高。沉积速率随着衬底温度的升高逐