热处理对钛酸锶钡薄膜光学性能的影响.pdfVIP

第 l1卷第 6期 显微 与测量 Vo1．11No．6 2014年 12月 Microteehnique＆ Measurement December2014 热处理对钛酸锶钡薄膜光学性能的影响：l： 赵丽丽，翟春雪，朱红丹，廖付友，刘艳秋 (西北大学信息科学与技术学院，陕西 西安 710127) 摘 要：采用无水溶胶一凝胶技术制备了钛酸锶钡光学薄膜，系统研究了预处理和退火温度对钛酸锶 钡薄膜的相结构、微观形貌和光性能的影响，优化了薄膜的光学性能，结果表明，膜的结构和形貌 直接影响其光学}生能。通过150℃预处理和850~C退火获得了晶化程度 良好、表面形貌平整致密的钛 酸锶钡薄膜。该膜在350～1000nm的最大光透过率为80．72％，在600～1000nm的折射率稳定在～1．93左 右，消光系数最小，最小值为4xl 。 关键词：钛酸锶钡；薄膜；退火；光学性能 EffectofHeatTreatmentontheOpticalPropertiesof Bariam Strontium TitanateThinFilms ZHAO Li-li，ZHAIChun-xue，ZHU Hong-dan，LIAO Fu-you，LIU Yan-qiu (SchoolofInformationScienceandTechnology,NorthwestUniversity,Xian710127,China) Abstract：BariumStrontiumTitanate (BS1[)thinfilmswerepreparedinsol-gelprocesswithoutwaterin the system．Effectsofthepre-heattreatmentand theannealingtemperatureon thephasestructure， micro-morphology andopticalpropertiesofBST thin filmswereinvestigated in detail．Theoptical propertiesofBSTthinfilm wereoptimized．Theexperimentresultsshowed thatthephasesturctureand micro-moprhologyofthinfilmsdirectlyaffectedtheiropticalproperties．ThegoodcrystallizedBSTthin filmswith denseandrelativesmoothmoprhologywerepreparedthroughpre-heattreatmentat150~C andannealat850~C．Thetransmittancemaximum oftheas-preparedthinfilm was80．72％ inthe wavelengthrangefrom 350to1000nm．Thererfactiveindexofthissamplewasabout1．93intherange rfom 600to1000nm，theextinctioncoefficientminimum was4x10 ． Keyword：barium strontiumtitanate；thinfilm；anneal；opticalproperties ：0484+1 文献标识码 ：A ：1812—1918 2【014J06—0062一O5 收稿 日期 ：2014—09—02 基金项 目：陕西省工业科技攻关项 (2012GY一36) 62 第 6期 纳 米 科 技 Vo1．11No．6 2014年 12月 Nanoscience＆ Nanotechnology December2