基于零偏置肖特基二极管的270GHz高性能波导检波器.pdfVIP

第 34卷第 1期 红 外 与 毫 米 波 学 报 Vo1．34，No．1 2015年 2月 J．InfraredMillim．W ayes Febmary，2015 文章编号：1001—9014(2015)01—0001—05 DOI：10．3724／SP．J．1010．2015．00001 A 270GHzhighperformancewaveguidedetectorutilizing azero-biasSchottkydiode ZHANGJian—Jun， ZHOUJing．Tao ， YANGChengYue。， TIANZhong， JINZhi (1．DepartmentofMicrowaveDevicesandIntegratedCircuits，InstituteofMicroelectronics， ChineseAcademyofSciences，Beijing 100029，China； 2．ResearchInstituteofElectronicScienceandTechnology，UniversityofElectronicScienceand TechnologyofChina，Chengdu 611731，China) Abstract：AccordingtothestructureoftheInPdiode，3-D highrfequencysimulatesoftwarewasadoptedtocreate accuratephysicalmodelandmatchingcircuitsofthediode．Harmonicbalancesimulationwasusedtosimulatethe wholecircuits．BasedonthistypeofInPSchottkydiode，a270GHzzerobiasdetectorwasdesignedandmeasured forthefirsttimeinChina．Themeasuredresponsivity isnera 1600 ， at260GHz．aswellas1400、， over 260～280GHztypically，whichcorrespondstotypicalnoiseequivalentpowerlevel(NEP)of18pW ／Hz“．The measuredand simulatedresultsraehighlysimilra ，indicatinghtathtissolutionhastheadvna tagesofaccurate，sim— plifiedandeasily optimized． Keywords：Terahertz，detector，InP Schottkybarrierdiode PACS：84．30．Qi 基于零偏置 肖特基二极管的270GHz高性能波导检波器 张建军 ，周静涛 ，杨成樾 ，田 息2，金 智 (1．中国科学院微 电子研究所，北京 100029； 2．电子科技大学电子科学技术研究院，四川 成都 611731) 摘要：根据 InP二极管的物理结构，采用三维高频电磁仿真软件对其精确建模仿真，获得二极管的物理模型和 匹配电路的精确参数，而后将此模型利用谐波平衡进行仿真设计．最后，在此基础上采用 InP肖特基二极管，