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第28卷第4期增刊 仪器仪表学报 V01.28NO.4
(、hinese ofscienti矗c AoL2007
2007年4月 Jou咖l Inst兀|ment
CMoS探测器在射线检测中的应用
孙朝明,李强,王增勇,李建文
(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所绵阳621900)
摘要:以CMOs探测器为记录介质的数字化射线检测技术,检测精度高,温度适应性好,结构适应性强。cMos射线扫描
探测器探测单7i排成线阵列.需要在检测时进行相对扫描运动,逐线采集并拼成完整的透照投影图像。因此,进行了检测工
装设计,完成探测器的固定、位置调节及实现与检测工件的相对运动。介绍了检测应用中的各步骤包含探测器配置与校准、
台适透照方式选取、运动速度控制、检测参数优化、缺陷定量分析、图像存档管理等。应用结果表明经过工艺优化,c^螂探
测器能够实现大多数产品零部件的射线榆测。最后,分析了数字化射线榆测应用效果及有必要进行研究的几个问题。
关键词:cM0s探测器;数字化射线检测;工艺优化
of
direct CM()S linear detector
Application
radiographyusing X—ray array
Sun
Chaoming,LiQiang,WangZengyong,LiJianwe“
6朋90D,chi凇)
(胁z打“据o,M2曲iM。叫M口n“如以“帕IgTk^加£og,,(1AE尸,M妇”婵”g
Abstract:Thedirect metaloxide linearar—
radiography(DR)usingcomplementarysilicon(CMOS)Ⅺray
detectorasrecordmediahasthe of
ray higher resolution,better
advantagesspatial temperatureadaptabm—
and
fle五blestructure movementofthedetectorand
ty adaptability.Duringradiographictesting,relative
thework is tocollecteachlineofthescanned
piece the unitsarelinedina
necessary image,asdetecting
row.So,the were torrlountthe therelative and
testing designed
equipments detector,adjustingposition
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to structure andcali—
moving pieceaccording testingprocedure
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