反应磁控溅射方法制备碳掺杂纳米TiO2薄膜及其光电特性研究.pdfVIP

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2017-08-10 发布于安徽
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反应磁控溅射方法制备碳掺杂纳米TiO2薄膜及其光电特性研究.pdf

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反应磁控溅射方法制备碳掺杂纳米TiO2 薄膜及其光电特性研究 * 朱蕾，崔晓莉，沈杰，杨锡良，章壮健 (复旦大学材料科学系，200433 ，上海) 基于二氧化钛的光催化与光电转换的研究一直十分活跃。由于TiO 的禁带宽度较大 2 （Eg = 3.0~3.2eV ），只能被400nm 以下的紫外光激活，为了提高二氧化钛薄膜对可见光的利用率，已经进行过许多尝试，如利用有机染料敏化、通过贵金属(银、铂)修饰以及过渡金属(如钒、钨、铬、铁)和非金属(氮，碳)掺杂等，Khan等通过煤气火焰加热Ti金属的方法制备了具有可见光响应的n型TiO2-xCx 薄膜，显著改变了可见光的吸收性能。本文通过反应磁控溅射的方法在Ar/O 气氛中制备了碳掺杂的纳米TiO 薄膜并研究了其 2 2 在可见光下的光电活性。通过反应磁控溅射的方法在导电玻璃或载玻片上制备碳掺杂纳米 TiO2 薄膜，先将 -3 工作室抽至 10 Pa 真空，再通入氧气和氩气，调节氧氩比为 1:4，然后调节高真空阀，使工作室压强保持在2Pa 的溅射压强，通过控制溅射电流和溅射时间来控制薄膜的厚度。将镀在导电玻璃上的TiO2 薄膜制成工作电极，Ag/AgCl 和 Pt 片电极分别作为参比电极与对电极，在0.5mol/L 的Na SO 中进行光电化学测试，实验中采用350W 氙灯光源， 2 4 通过滤光片滤掉紫外光，6 cm 厚的石英水槽滤掉红外光。图1 是TiO2 薄膜(a)及碳掺杂的TiO2 薄膜(b, c)在可见光(b)及白光(c)照射下的开路光电压，从图中可以看出，纯二氧化钛对可见光几乎不响应，而碳掺杂的二氧化钛薄膜则表现出明显的可见光响应。结合薄膜的吸收光谱曲线，可知当掺杂适量碳时，可使薄膜对光的吸收产生红移，增加了TiO2 薄膜对可见光的吸收率，因此提高了TiO2 薄膜的光电催化活性。图1. 反应磁控溅射方法制备的TiO2 薄膜（a ）及碳掺杂的TiO2 薄膜（b, c ）在可见光（b ）及白光（c ）照射下的开路光电压。制备薄膜时溅射电流，0.5A，溅射时间，1 小时。致谢：本工作得到国家高技术研究发展计划(863)专题(No. 2006AA05Z121)及国家自然科学基金(No. 和2006 年上海市浦江人才计划项目资助。 E-MAIL ：xiaolicui@fudan.edu.cn, TEL：021-65642397