SrBi4Ti4O15铁电薄膜溶胶-凝胶法制备工艺研究.pdfVIP

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2017-08-10 发布于安徽
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SrBi4Ti4O15铁电薄膜溶胶-凝胶法制备工艺研究.pdf

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No．1 第30卷增1 压电与声光 SuppL 2008年6月 PIEZOELECTECTRICSACOUSTOOPTICSJun．2008 文章编号：1004—2474(2008)$1—0044—03 SrBi4Ti4 015铁电薄膜溶胶一凝胶法制备工艺研究黄平1，王晓军1，崔彩娥1，徐廷献2 (1．太原理工大学理学院物理系．山西太原030024t2．天津大学材料学院．天津300072) 摘要：以氯化锶、硝酸铋和钛酸丁酯为原料，柠檬酸为络合剂，乙二醇为交联剂，元水乙醇为钛酸丁酯的溶剂，盐酸为硝酸铋的溶剂。去离子水为氯化锶的溶剂，配制了稳定的SrBi4n0-s(SBTi)前驱液。采用溶胶一凝胶工化快速退火工艺对薄膜晶相组成的影响．并通过热处理工艺的控制制备了完全由铋层类钙钛矿相组成的Sr· Bi,Ti‘0。。薄膜。实验结果表明，逐层快速退火工艺可有效抑制焦绿石相的形成．关键词：铁电薄膜}SrBi4Ti．015；溶胶一凝胶法；热处理工艺中图分类号：TB43 文献标识码：A of ThinFilm Ferroeleetric Sol—GelMethod SrBi4Ti4015 Preparation by HUANG Cai-e1，XUTing-xian2 Pin91，WANGXiao-jnnl，CUI (1．TheSchoolof of Science，TaiyuanUniversityTechnology．Taiyuan030024。Chinat 2．TheSchoolofMaterialsScienceand University，Tianjin300072，China) Engineering，Tianjin Abstract．ThestableStrontiumbismuth solutionwere strontiumchlo- titanate(SBTi)precursorpreparedusing ride，bismuth titranateasrawmaterials，andcitricacidas as nitrate·tetrabulyl complexagent·and glycol ethylene crosslinker。andethanol acidaasolventsof titranate．strontiumchloride． absolute．water．hydrocModetetrabulyl bismuthnitrate thinfilmswere on substrates respectively．趾ITi preparedAIzOj·p-Si(111)，andPt／Ti／Si0。／Si by Sol—Gelmethod．WiththeaidsofXRD，theeffectsofone-off thermal methodand genera