变极距式电容传感器的特性研究及应用.pdfVIP

第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下) 变极距式电容传感器的特性研究及应用 钟双英a，刘崧b (南昌大学色基础物理实验中心；b．物理系，江西南昌330031) 摘要：本文主要是研究变极距式电容传感器的输出电压与极板间距的变化关系及其在 线胀系数的测定实验中的应用．实验结果表明：在有效工作区域内，输出电压与间隙变化满 足线性关系．另一方面，相对传统的微小位移测量方法而言，采用电容位移传感器测量具有 智能化和实时性优点，极大地提高实验精度． 关键词：变极距式电容传感器；gLg翰,l量；线胀系数 中图分类号：04．33 文献标识码：A 1 引言 电容式位移传感器，依据不同的工作原理分为变面积型电容传感器、变间隙型电容传感 器、变介质型电容传感器等类型。由于其结构简单、动态响应好、灵敏度高及便利的操作接 口【l-3】，已广泛应用于社会生活生产和国防、科研、航天等部门。如导弹、飞机、潜艇和宇 宙飞船上的惯性导航系统、无触点非接触式的电容式键盘、成像精度高，且耗电量小的指纹 识考勤机及汽车的ABS防抱死制动系统等。本文主要是研究变极距式电容传感器的输出电 压与极板间距的变化关系及其在线胀系数的测定实验中的应用。 2 变极距式电容传感器 2．1变极距式电容传感器结构与工作原理 变极距式电容传感器利用极板间距离的微小变化引起电容值变化，实现非电量转换为电 测量的，由一固定极板l和一可动极板2构成，其结构如图1所示。 极板1 d 设动片未移动时极板间距为ao，则初始电容量为co： 基金项目：江西省自然科学基金资助 ncu．edu．crl —-68— 第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下) ￡S ，’ (1) 乙o2—■ d0 式中，S为极板相对面积，do为极板间初始距离，￡为Egg-数。当动极板向固定极板移动距 离为△d时，此时Fg容-C为： ∞茄2磊一酣 co壶”l一丝 ㈤ 吨 电容的相对变化量为： △d AC一以 (3) 一=·--·二二--一 q l一丝 ‰ 当Addo时，(3)式按泰勒级数展开得： l—l—ll—I……I (4) 一==一l q 磊I 磊 L磊／ L磊／ i 等=等l·-F·等-p·[等]‘·l-(钥3-Fh…l 由(4)明显可知，电容的相对变化量等与位移改变△J不满足线性关系，如图2所示。 C O 若锣吃《l，略去高次项，此时变极距式电容传感器才有如下近似线性关系： △C酣