针式轮廓仪的技术改进研究.pdfVIP

第31卷第4期 长春理工大学学报 (自然科学版 ) VOI．31 No．4 2008年l2月 JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology(NaturalScienceEdition) Dec．2008 针式轮廓仪的技术改进研究 罗宽，田明，臧景峰，冯进 良 (长春理工大学 光 电工程学院．长春 130022) 摘 要：随着精密和超精加工技术的进步，需要更高水平的设备检测微表面质量。表面粗糙度是一个重要指标， 表面粗糙度测量仪从二维到三雏实施检测。虽然许多非接触检测技术已得到应用，不过要从安装方便 、可靠性高这 个角度来看．针式法是一种优先选用的方法。本文对如何引进和使用精密三维工作台来改善此方法进行了研究。 详细论述了测量系统的组成和精密三维工作台的设计。通过三个设计方案的论证分析，提出了将针式测量仪和计 算机结合在一起的智能化测量系统。该检测方法具有检测参数超过平面限制的三维粗糙度测量方法。