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2017-08-09 发布于重庆
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退火对铁电薄膜微观结构的影响.pdf

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退火对铁电薄膜微观结构的影响.pdf

第 58 卷第 2 期 2009 年 2 月物　理　学　报 Vol. 58 ,No. 2 ,February ,2009 ( ) 10003290200958 02 124606 ACTA PHYSICA SINICA 2009 Chin. Phys. Soc. 退火气压对 Bi La Ti O 铁电薄膜的微观结构 325 075 3 12 和铁电性能的影响李建军　于　军　李　佳　杨卫明　吴云翼　王耘波 (华中科技大学电子科学与技术系 ,武汉　430074) (2008 年 6 月 17 日收到 ;2008 年 7 月 20 日收到修改稿) ( ) ( ) 　　采用 solgel 法在 PtTiO SiO pSi 100 衬底上制备了Bi La Ti O BLT 铁电薄膜 ,研究了在 750 ℃时不同 2 2 325 075 3 12 ( - 4 ) - 4 退火气压 p O :10 —3 atm 对薄膜微观结构和电学性能的影响. XRD 和拉曼光谱结果表明在 10 和 3 atm 氧气压 2 下退火的薄膜晶化度明显降低. 同时 ,XRD 结果反映出 10 - 1 atm 氧气压下退火的薄膜具有 a 轴择优取向. FSEM 截面形貌显示 01 atm 氧气压下退火的薄膜由与 a 轴取向相对应的柱状晶粒构成 ,1 atm 氧气压下退火的薄膜为由随机取向相对应的斜杆状晶粒构成. 薄膜的微观结构最终影响了其铁电性能. 01 atm 氧气压下退火的薄膜具有最大 ( μ 2 ) ( ) 的剩余极化值 Pr = 178 Ccm 和最小的矫顽场强 Ec = 736 kVcm , 以及良好的抗疲劳特性. 关键词 : Bi La Ti O , 铁电性能 , solgel 法 , 正交化度 325 075 3 12 PACC : 7755 , 8140 , 7780 , 7780F 度、气氛、气压等 ,将强烈影响BLT 薄膜的生长取向 1 引言和微观结构[7 —9 ] . 研究发现 ,BLT 薄膜在氧气压从 1