椭偏仪的原理和应用.pdfVIP

( ) ( ) 合肥学院学报 自然科学版 Jou rnal of H efei U n iversity N atu ral Science s 　2007年 2 月 　第 17卷 第 1期 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Feb. 2007 Vol. 17 No. 1　 椭偏仪的原理和应用 余 　平 ,张晋敏 (贵州大学 计算机科学与工程学院 ,贵阳　550025) 摘 　要 :椭偏术是一种利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质以获得样品的光学常数的光谱测 量方法. 椭偏仪主要用来测量薄膜材料或块体材料的光学参数和厚度的仪器. 关键词 :椭偏仪 ;光学参数 ;薄膜 ;偏振 D rude模型 中图分类号 : O433. 1 文献标识码 : A 文章编号 : 1673 - 162X (2007) 0 1 - 0087 - 04 采用光学方法可以对许多固体材料的宏观和微观物理性质进行深入研究 ,其中最直接的方法就是测 量材料的光学常数随光子能量或波长的变化关系 ,从而与微观机理相联系 ,来认识和理解光与物质相互作 用的本质. 椭偏光谱不直接测算光强 ,而是从相位空间寻找材料的光学信息. 椭圆偏振测量法由于其测量 精度高 、非破坏性而被广泛应用于薄膜的各种特性的测量. 1　原理 偏振光波通过介质时与介质发生相互作用 ,这种相互作用将改变光波的偏振态 ,测出这种偏振态的变 化 ,进而进行分析拟合 ,得出我们想要的信息. ρ 用薄膜的椭圆函数 表示薄膜反射线形成椭圆偏振光的特性 ,即 r r p p j (w - w ) jΔ ρ p s ψ = e = tan e , r r s s ψ ψ 式中: tan 表示反射光的两个偏振分量的振幅系数之比, 称偏振角; r 表示反射光在 P 平面的偏振分量; p r 表示反射光在 S 平面的偏振分量. s 椭偏仪数据处理模型的建立是至关重要的一步 ,如果不能建立一个与参数匹配良好的模型 ,前面的测 试就毫无意义 ,甚至如果建立一个错误的模型 ,其结果将与真实值南辕北辙 ,误导我们的实验. 下面列出几 种材料的物理模型. 1. 1　NK模型 　它用于已知组分的同类多层膜. 1. 2　柯西模型 　它适用于透明材料 ,如 A l O 、SiO 、M gF 、SiN 、TiO 、ITO、KC l等. 我们用 Cauchy公式表 2 3