硅纳米线太阳电池表面钝化及研究.pdfVIP

第 12届中国光伏大会暨国际光伏展览会论文（E. 先进太阳电池：新概念、新材料和新结构 （纳米太阳电池、有机太阳电池、染料敏化太阳电池等）） 硅纳米线太阳硅纳米线太阳电池表面钝化的研究电池表面钝化的研究 硅纳米线硅纳米线太阳太阳电池表面钝化的研究电池表面钝化的研究 1 2 2 2 2 1 杨萍杨萍 ，曾湘波，曾湘波 ，谢小兵，谢小兵 ，李浩，李浩 ，李敬彦，李敬彦 ，王占国，王占国 杨萍杨萍 ，，曾湘波曾湘波 ，，谢小兵谢小兵 ，，李浩李浩 ，，李敬彦李敬彦 ，，王占国王占国 （1.中科院半导体研究所 材料科学重点实验室，北京 100083； 2.中科院半导体研究所 集成光电子学国家重点联合实验室，北京 100083） E-mail ：xbzeng@semi.ac.cn 摘要：摘要：纳米线表面缺陷态对纳米线太阳电池性能影响至关重要。我们提出在硅纳米线表面 摘要摘要：： 沉积本征 a-Si:H 薄膜作为钝化层，研究 a-Si:H 薄膜对纳米线表面结构及光电性能的作用。 硅纳米线表面的形貌用扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM ）表征，纳米线表 面键、光学性质依次通过傅里叶红外光谱（FTIR ）、光致发光谱（PL ）表征。在径向p-n 结 硅纳米线电池中加入本征 a-Si:H 层后，得到电池的开路电压（VOC ）为0.62 eV ，我们对此 结果的产生机理进行探讨。 关键词：关键词：硅纳米线；表面钝化；太阳电池 关键词关键词：： 1 引言1 引言 （PL ）宏观表征出纳米线表面特性。最后， 1 1 引言引言 在不锈钢衬底上制备出径向 n-i-p 结构纳米 纳米线及其阵列应用于太阳电池，其减 线阵列电池，证实了钝化层的作用。 反射和光吸收特性对电池性能的改善有着 [1] 较为明显的作用 。径向硅纳米线电池，由 2、2、实验实验 22、、实验实验 于光吸收与光生载流子输运方向正交化，从 实验采用 PECVD 设备，以硅烷（SiH ） 而解决了光吸收与光生载流子分离的矛盾 4 [2]，近几年引起了人们的广泛关注。但纳米 为反应气体，玻璃和不锈钢作为衬底生长硅 线较大的比表面积，使得载流子的表面复合 纳米线（SiNWs）。首先，将溅射有 ITO 的 率增加而影响电池的性能，因此 Al O [3] 、 玻璃和不锈钢衬底放入PECVD 设备，在400 2 3 SiO2[4]等被用作表面钝化层来改善载流子的 ℃下通入 H2 进行氢处理形成纳米尺寸的 In 滴。然后，通入 SiH 和 H ，在一定真空及 收集。为了表征硅纳米线表面钝化改善，常 4 2 用的方法是表征载流子寿命，如电子束诱导 压力条件下生长硅纳米线，在纳米线表面原 [5] 位沉积一层本征非晶硅薄膜用于研究其对 电流（EBIC ） 、扫描光电流法（SPCM） [6]，但因需要进行微纳加工制备单根纳米线 纳米线表面的钝化作用。最后，在纳米线表 器件而