应用于压电叠堆泵的柔性铰链放大机构的设计和性能分析.pdfVIP

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应用于压电叠堆泵的柔性铰链放大机构的设计和性能分析.pdf

244 Vol.24 No. 4 2 0 0 7 4 JOURNAL OF M ACHINE DESIGN Apr. 2007 * 刘登云, 杨志刚, 吴丽萍, 程光明 ( , 130025) :研制了一种应用于压电叠堆泵的柔性铰链放大机构,通过有限元方法分析了一 主要机构参数对柔性铰链放 大机构输出位移的影响,并对其参数进行了优化设计在此基础上加工制造了样机,并通过试验验证了其良好的位移放 大性能和动态响应特性 :压电叠堆; 柔性铰链;放大机构 :TH 123 :A : 1001- 2354( 2007)04- 0068- 03 ,, : = / tan ( 1) , 50 m, , 150 V 16 m, , 2 , ( ) , , , NEC AE0505D16 100 V 11 m 2 , ANS S : 1 柔性铰链放大机构的结构设计 t = 0. 5 mm, T = 6 mm, = 8, R = 1 mm t R , , , , 1 , () () , ,, ,1% 3 t t 3 , , , ; t , 1 , 2~ 5 , , , , * : 2006- 06- 20; : 2006- 10- 08 : ( 1982- ), , , , : , 5 2007 4 ,: 69 4 6 ( 1) , , ANS S 3 柔性铰链放大机构的性能分析 , 4 , , ,

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