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STC’99 第六届全豳敏感元件与传感嚣学术会议 用扫描方式测量刻线线向距 谢小平 刘卷民 (中国科学院光电技术研究所．成都610209) 摘要： 本文主要介绍用逐步扫描方式检测刻线线宽．它以线阵CCD为工 ● 具．以计量光栅作基准，通过计算机采集，用空间拟合函数法计算处理 后．自动检测刻线线间距。 主慝词： 扫描检测刻线宽度光学码盘 一、引言 在计量测试过程中，常常对刻线线宽的检测。随着科学技术的不断深入和 发展，特别是在高精度控制过程中，人们已不满足用传统的人工显微镜瞄准压 线的方式进行测试。同时，传统的测试方法受主观限制，所测得的刻线对准误 差的一致性相对较大。因此提出了非人工干预的自动测量的方式。自动测量的 方法有多种多样，但从测量精度和经济效益两方面考虑，我们采用以线阵CCD 作为光电传感器，用计量光极作为测量基准，使用步进电机微步移动平台。在 计算机管理下用扫描的方式自动测量刻线线宽。本文介绍的刻线线宽的测量是 应用于一种特殊光学码盘上的检测，它是由明暗相阃的方块组成，方块边缘(码 I 盘塞4线)之闻最小距离仅为0149mm。这里要求测量每个刻线相对于光学码盘 中心线的距离即裹蝗％线宽。 二、刻线边缘图形虬及位置确定 由于刻线是由明赌相间的条纹组成，当刻线边缘扫过CCD时，刻线边缘的输 出波形图如图l所示，当CCD从暗区(亮区)逐步靠近亮区(暗区)时，CCD输出值经 A／D量化后从15(暗区值)逐级变化到250(亮区值)。当刻线工艺比较好时，其CCD 输出的量化灰度值变化快，反之，其变化比较缓慢。从刻线边缘的灰度变化可以找 出测量刻线的边缘位置，记录测量刻线的位置值，由计算机处理得到刻线相对于 某中心线的距离从而可测出各刻线线宽。 ‘≯ t 图1 刻线位置确定对测量刻线线宽的精度有很大的影响，刻线边缘位置由CCD 输出的灰度值来确定，当灰度值取值过大或过小，侧出的刻线线宽与理论值比较都 43 STC’99 第六届全国敏感元件与传搏器学术会议 会有规律的出现一大一小的现象，因此必须找到一个合适的灰度值来测量刻线的 位置，如果用一个固定的值作为测量刻线边缘的位置显然不舍理的，特别是当某些 刻线的边缘如果有凹凸现象时，固定值测量刻线线宽是不可取的。在此利用空间 拟合函数法确定各刻线的边缘的位置，从而测出刻线线宽．下面介绍空间拟合 函数法确定刻线边缘的位置． 毫 空间拟舍函数法即将样本数据采用拟合函数，在某种拟合准则(如最小二 乘法原理下)，对样本数据进行拟合，重建连续图象即空间拟合函数。由于刻 线边缘图象比较线性，因此可采用线性拟合边缘检测方法：直线拟合最小二乘