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Vo1.28 高等 学校化 学学报 No.1
2007年 1月 CHEMICALJOURNALOFCHINESEUNIVERSIrI1ES 149—152
微芯片上A S电化学纳米开关的
构筑及 电学测量的初步研究
孔德生 ,田景华 ,刘 波 ,刘海林 ,陈招斌 ,毛秉伟 ,田中群
(1.厦门大学化学系,固体表面物理化学国家重点实验室,厦门361005;
2.曲阜师范大学化学系,曲阜273165)
摘要 初步探索了利用电化学方法 “自下而上”地构筑了Au/Ag/Ag2S—Au固体电化学纳米开关,并确定了较
适宜的开关工作条件.小于1nm的Ag2S-Au间隔是Ag2S开关器件的关键结构,以保证电子的量子遂穿和间
隔中Ag凸起的生长与收缩.测量结果表明,Ag2S开关转换具有较好的可逆性和稳定性,开关转换电流相差
3个数量级以上.
关键词 Ag2S;纳米开关;电化学 ;电沉积
中图分类号 0646 文献标识码 A 文章编号 0251-0790(2007)01-0149-04
纳米开关是纳米电子器件以及未来纳米计算机的一种基本元件,在集成电路信息保护、存储、监
测和交换技术中具有重要应用.纳米开关和存储器都是利用对某种激励信号具有双向响应特性的材料
制成 J,使用的激励信号可以是电、光、磁和热等.这种材料在适当的条件下会改变某种特性(通常
是电导率的转换),从绝缘态变为导电态 (或相反)形成回路的电流通断,或作为计算机信息存储的
“0”和 “1”两种状态.同时还要求这种开关器件能随着外加条件的变化恢复到原来的状态(称为擦除),
即应具有可逆性.
目前固体纳米电子开关器件的制造主要依靠精细微电子机械系统(MEMS)技术,但存在光刻技术
最小加工线宽的物理极限限制.随着分子电子学的发展,特别是单分子开关和单分子整流器等分子水
平的器件研究已引起人们的关注 J,但该领域面临两个方面的障碍:(1)对单分子开关器件的可逆
性、稳定性和开-关态电导率的变化等基本性能的研究尚不完善 ],如有的分子不具有可擦除性,即一
旦导通了就不能再断开 ],有的分子虽然能反复地断和通,但只能持续有限的几个回合 ,有的分子
的通断电流之比太低,难以满足器件要求 川;(2)有机分子与外部电路的连接时如何快速地组装并
达到分子精度的问题尚未解决,而且有机物分子材料远不如无机材料稳定,其耐热性和机械强度较
差,易受到外界环境的影响.因此,探索新材料新技术,在纳米水平上设计和制造电子开关器件,尚需
进一步研究.
最近Terabe等 利用微加工技术制备了具有量子电导效应的Ags纳米开关和逻辑电路,在此工
作的基础上,本文利用电化学方法 ,采取 自下而上 (BottomUp)的路径,构筑了Ag:s固体电化学纳米
开关,并初步研究了其电学性能.
1 实验部分
1.1 仪 器
CHI631a型电化学工作站(上海辰华仪器厂)、LEO1530场发射扫描电子显微镜 (德国ELO公司)
和S-520扫描电子显微镜 (日本Hitachi公司),电镜同时配有 x射线光电子能谱仪,可以进行 EDS元
收稿日期:20o6-01-12.
基金项 目:国家自然科学基金 (批准号20328306)资助.
联系人简介:田中群(1955年出生)。男,教授,博士生导师,中国科学院院士,主要从事表面电化学研究
E-mail:zqtian@xinu.edu.cn
高等学校化 学学报 Vo1.28
素分析,扫描电子显微镜工作电压为20kV;WL-2~0超声波铝丝压焊机(深圳伟天星半导体设备有限
公司).
1.2 实验过程
依次通过化学气相沉积、涂胶、光刻、套刻和剥离等多种微加工技术,在(111)单晶硅片上制备相
距约2岬 的一对金电极[图1(A)].主要步骤包括:(1)首先将经过酸碱清洗的硅片进行高温氧化,
在表面形成一定厚度的二氧化硅层;(2)利用旋转匀胶机在硅片表面均匀地涂覆厚度约 1.5 m的光
刻胶,然后利用具有 目标Au
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