第6章+电容式传感器(改).ppt

　第6章　电容式传感器 ?????? 电容式传感器 概述 ??????? 电容式传感器 概述 ??????? 电容式传感器 概述 6.1电容式传感器的工作原理和结构 电容式传感器——将被测非电量的变化转换为电容量变化。 平板电容器的电容 根据被测参数的变化分： 变极距型电容传感器(d) 变面积型电容传感器(A) 变介质型电容传感器(ε) 6.1.2变极距型电容传感器 6.1.2变极距型电容传感器—基本特性 6.1.2变极距型电容传感器—基本特性 6.1.2变极距型电容传感器—灵敏度/非线性 1.灵敏度（变极距型） 2.非线性 6.1.3变面积型电容传感器 6.1.3变面积型电容传感器　 6.1.3变面积型电容传感器 变面积型电容传感器的优点是:输出与输入成线性关系,但与变极距型相比,灵敏度低,适用于较大角位移量及直线位移的测量。 6.1.4变介质型电容式传感器 柱式 6.1.4变介质型电容式传感器 平板式 电容传感器的等效电路 6.2电容式传感器的测量电路 电容传感器的特点：电容量小、变化更小（PF级）。理论上,交流电桥可作为电容传感器的测量电路,但由于电容及变化太小,不易实现。 常采用： 1.调频电路 2.运算放大器式电路 3.脉冲宽度调制电路 4、电桥电路 6.2.1调频电路 6.2.2运算放大器式电路 6.2.3脉冲宽度调制电路 C1充电,VF 。当VF Uc时,Q