第07讲电容式传感器.pptVIP

作业 P286 T4-19 T4-20 电容值总的变化量为 ΔC= C1-C2=C0 电容值相对变化量为 如果只考虑线性项和三次项, 则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 电容传感器做成差动式之后, 灵敏度提高一倍, 而且非线性误差大大降低了。 电容式传感器 电容传感器特点及应用 特点： 分辨力极高（电容值10-7，相对值100%~200%，位移0.01μm） 动极板质量小，惯性小，其固有频率很高，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小； 结构简单，不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强，能够承受高压力、高冲击、过载等情况。 缺点： 非线性； 差动结构 寄生电容影响大。 双层屏蔽电缆，小型集成电路 电容式传感器可用来测量直线位移、角位移、振动振幅，尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量。 变极距型的适用于较小位移的测量，量程在0.01m至数百微米、精度可达0.01m 、分辨率可达0.001m。 变面积型的能测量量程为零点几毫米至数百毫米之间、线性优于0.5%、分辨率为0.01～较大的位移，0.001m 电容式角度和角位移传感器的动态范围为 0.1″至几十度，分辨率约0.1″，零位稳定性可达角秒级，广泛用于精密测角，如用于高精度陀螺和摆式加速度计。 电容式测振幅传感器可测峰值为0～50m、频率为10～2kHz，灵