丝网印刷生产选择性发射极太阳电池关键问题.pdfVIP

第一部分晶硅材料、晶硅太阳电池 ·149· 丝网印刷生产选择性发射极太阳电池的关键问题 吴 坚朱冉庆 王栩生。 章灵军 (苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，215129) 摘要 掩膜后丝网印刷开槽的方法目前已被用于选择性发射极硅太阳电池的生产。适当的重掺杂和浅掺 杂方块电阻的搭配以及丝网印刷开槽和正电极图案对准是能形成高效率电池的关键。围绕如何保持生产中 的高效率和高良率，本文主要阐述掩膜生长、腐蚀性浆料印刷、扩散、正电极丝网印刷等四类关键问题及其 影响。 关键词 太阳能电池；选择性发射极；掩膜；丝网印刷 IssuesonMassProductionofSelectiveEmitterSolarCell Key by Screen Method Printing Zhu WuJian RanqingWang Linjun Xusheng‘Zhang (CanadianSolarInc．215129) beenutilizedinsiliconwaferselective AbstractMasketchedwithscreen has emitter(SE)solar printing and cellsmass sheetresistanceof shallowemitters，andthe ofmask production．Properpairsdeep alignment were asthe to efficientsolarcells．This andfrontmetal SE will opening patternregardedkeyshigh paper theirroles discussfour issues andsilver inthe key as：mask，etchingprinting，diffusionprinting，and hiigh and ofSEsolarcell efficiency manufacturing． yield solar emitter；mask；screen Keywordscell；selective printing 两者的优势。其特征是：①在电极栅线以下区域 1 引言 形成重掺杂深结，以形成良好的金半接触，降低接 触电阻，提高填充因子；②在非栅线区域形成轻掺 目前，扩散和金属化这两道工序是制约晶体 杂浅结，以获得较好的表面钝化效果，提高开路电 硅太阳电池生产转化效率提升的主要环节。扩散 压