二维折叠光谱分析的研究.pdfVIP

sr|：(1Rt，、|t?I、s1RtMI，NTs^Nn^、^lY、|、 二维折叠光谱分析研究 陈良尧郑玉祥赵海斌陈剑科陆卫杰王松有李晶张荣君杨月梅 (复旦大学光科学与工程系上海，200433) 郑荣儿 (中国海洋大学信息科学与工程学院山东青岛．266003) 陆继东姚顺春 (华南理工大学电力学院广东广州，510640) 摘要宽光谱、高分辨、高速光谱获取和分析技术在光电子材料、太阳能、化学、生物医学、环境、 国防等领域具有重要的研究意义和应用价值．是现代光谱分析仪器的核心。为了实现宽光谱、高分 辨率和快速的光谱测跫和分析，在本研究中．突破传统单光栅和棱镜等色散元件有限色散角和光谱 效率的限制，采用二维CCD面阵光电探测技术，将具有不同闪耀角和色散特性的10光栅进行集成 光谱的有效探测区长度扩展了lO倍，达到268mm。经系统定标后，测量结果显示．无需任何机械 位移部件，新的光谱分析系统可达到优于0Irma的分辨率，能够在0Is时间内完成200—1000rim全 光谱数据的快速获取和分析，将能够在科学研究和高科技领域获得重要应用，体现了高性能光谱分 析技术研究和发展的趋势。 一、前言 光谱学在现代科学研究和工业等领域有着广泛的应用，覆盖了从紫外、可见到红外的宽广光谱 区，通过对各种物质的反射、透射、散射、吸收和偏振等光谱的峰位、强度、线型、带宽等特征物 理光学参数的测量．可获得丰富的光学信息。高精度光谱分析是深刻理解自然界中许多光物理现象 及其本质的基础．能够发现和探索光与物质相互作用的规律。认识和解决涉及到物理、化学、材科、 能源、信息、环境、生物、医学、地球和空间物理等领域的光物理基础问题，其原理和方法在现代 通信、微电子、纳米技术、光电子、化工和国防等领域获得了广泛应用。 国际上为满足现代光谱学研究和应用的需求．已发展了各种新型的光谱分析原理和方法【卜13】。 在应用最广泛的可见光谱区，主要是采用如棱镜和光栅这样的光学色散元件，并结合高灵敏探测器 对各种光谱(如反射、透射、吸收、散射、椭圆，偏振、磁光旋转．荧光、喇曼等光谱)进行测量 和分析。受色散元件非线性效应和探测器光谱响应特性的影响．通常的光谱测量被限制在一定的光 谱区范围，并需采用机械装置对色散元件进行位移和旋转控制。 在快速光谱分析中．主要包括三项重要指标：(1)光谱区工作宽度：(2)光谱分辨率；(3)畏4量时 间。虽然采用常规的光栅或棱镜机械fj描的光谱分析法，可在较宽的光谱区实现具有很高分辨率的 43 埘般；M-嘶 光谱分析．但这种时间串联机械扫描型测量模式难以提高谜度，在长时foJ审L械扫揣测量过程中的重 复测量精度和可靠性较低。采用无机械扫描的一维和二维衙阵探测器方式可实现高速度测量．是现 代快速光谱分析的重要发展方向[卜5】，但一维探测器有限的物理尺寸和探测象元密度限制了光谱区 宽度和分辨率，需要根据不同的波长范围．置换相应的色散元件并结合多光谱窗口扫描，才能完成 全光谱的成像分析。并且，一块光栅难以覆盖全光谱范围，在其光谱衍射工作区的两端效窄较低， 影响了信噪比质量。 在采用硅基CCD阵列测量的快速光谱分析系统中，典型的色散特性如被设计为3rim／ram，与硅基探 测嚣200-1000rim的波长工作区相对应．其一维探测区的长度将达到267mm，为满足每像元0lnm 的波长分辨率，约需8000个像元．这样的器件物理尺寸和像元密度将很难在考虑成本和工艺等因素 的器件中被实现。因此，为了获得较高的14．16bit信号动态范围和优于0Ivan光谱分辨率，如采用 1024×1024像元的高灵敏度面阵CCD探测器，每个像兀面积为20x20J_tm2，其一维探测长度约为 20mm．每次测量仅能获得约60nm窗口的光谱信息。这样仍需采用机械结构，至少需沿光谱的衍射 方向连续转动光栅14次，才能完成200-1000nm全光谱区的扫描测量。虽然采用高色散系数的光学 系统，或能免除机械扫描机构，一次完成全光谱区的测量，但在有限像元尺寸和一维阵列像元数(如 500—1000像元)等物理条件限制下，这将以降低光谱分辨率为代价．