微尺度力学检测技术的研究.pdfVIP

微尺度力学检测技术研究‘ 谢惠民李匏杰王睫毕胡振兴 (清华大{值用力学教葡；陲点实验宣北韩100084) 摘要随着檄纳米技术的发展，涌现出很多微器件如HEMS，N6MS等．这些微器件的可靠性 和嚣件的力学-睦能直接相关．迫切需要开展力学-陛能剥量的研究，其中最重要的是相应足 度的主彤剥量和结椅拴刺技术。尺寸的缩小对力学剥量技术提出很多挑战，如加载方式、 变形科量．针对微#米5件鸯《Ⅻ量和镕椅检Ⅻ的需要，基f高分辨车o“t镜十e，寰展T倍增iR 日理论研究}随机相社it丘痛i*．对掇i《#椅的聚合*薄睫和旱线∞A自行自进行7#验研究和m 论分析． 关键词：微**￡《Ⅻ量#椅拴∞I＆∞ SEM倍增云纹理论研究 扫描电镜云纹法是实验力学领域中一种有效的微尺度全场位移和应变测量手段。然而这种^ 法需要在试什表面制作光栅，虽然聚焦离子粜自l电子求刻蚀A法能够制作10000线Anm的光栅， 但制作如此高频的光栅对试件表面租耱度和平整度要求很高，相对来讲低频光栅更容易空现， 且光栅质量更高。倍增云纹是在参考栅频牢和试什栅频率近乎成整数倍关系的条什下形成帕， 也就是说在试什栅频率较低的情况下仍然一Ⅱ以自l高频参考栅十涉彤成云纹。在扫描电镜F，通 过提高放大倍数或者扫描线数可以方便地，丈现倍增云纹，脚l给出了自然云纹和通过提高放_人 倍数面得到的倍增云纹．为了更好的坪解和利用倍增云纹现象，对倍增云纹进行丁理沦研究和 实验验证，推导出了倍增云纹的云纹间距统一表达式及娈形测量所需簧的位移和应变公式．结 果表明倍增云纹町提高位移测量灵敏度，而戍变测量灵敏度和扫描线数成反此，利用一维光栅 在扫描电镜下形成的云纹对理论结果进行了实验验证。 豳幽缓鍪 增系数分剐为2，3，4。 、随机相移云纹方法反演微纳米周期性结构Ⅲ 微纳米表面周删性结构背遍存在下MEMS器件，材料制备，光纤传感器、生物材料等结构 中，其形状及尺寸特征直接影响着器什的性能。日时这类结构的测量方法土要是使川高倍电镜， 如扫描电子显微镜(sEM))等．然而这些测量方法需报高的放大倍数．一次H能测量物体表面根 小的一个区域，根难获知人范【菘内物体表面的结掏特征。我们提出了在扫描咀f显微镜平台下 的随机相移儿何云纹的反演方法，能够更加灵活、方便、自动以及精确地反演微纳米发面周期 性结}{I。将该方法廊川丁蝴蝶翅膀周艄性结构的反演中，如幽2所示，由计算山的位移场∞l已 知的参考栅结构即可反演出蝴蝶翅膀结均。宝螗结粜证明该方法吼可测封试样表而微纳米尺应 的周姘性结柑R叫、卫u九￡人旭阳内应映H整体结柑特征。 No ’资金资助：G咖I 20IOCB631005201ICB606105theNati∞alNaturalScience N舴1062520910732080l 三、薄膜／导线结构的屈曲行为研究‘” 。、鬃然岔毒譬墼蔷i韶蔫：薷i主垂ii；嚣蒹雷詈；?丑嚣黧磊 醇绾甲乙醛薄膜结构为研究对象，研究了聚合物薄膜和康锕线受电载荷作用时的席曲模态。 曩 一一 舞． 渤薅灞渤瀚。 霪巍辫穗磊 。—■——一 目2利用随机相穆方社分析蝴蝶翅膀的结构 图3lF变、倾斜、螺旋波浪型Ⅷ曲出现∞条件 (a)随机辊移云级目(b)末解包裹晌相位剖 (c)解包囊的相位图【d)位移场p 3,1薄膜的屈曲行为研究 康铜线和聚合物薄膜之问的热失配，能够在聚合物薄膜上诱发新的失稳模态．在与康锅线轴线 相平行的方向，聚合物薄膜上产生了三种微米波陡的周期性屈曲模志．根据屈曲鼓包最高_l__(帕连线 与康铜线轴线的位置关系．将这三种微尺度届曲楼志分别命名为正交波浪型、倾斜波浪型带1螺旋波 浪型屈曲，总结出不同形