静电喷雾法中纳米粒子沉积形貌数值模拟.pdfVIP

静电喷雾法中纳米粒子沉积形貌的数值模拟1) * *,2) + + + 危卫 ，顾兆林 ，王盛 , 雷康斌 ，福田武司 *(西安交通大学，西安, 710049) +( 日本理化学研究所，和光351-0198) 摘要：纳米粒子的表面沉积是采用纳米粒子实现纳米器件独特性能的先决条件，静电喷雾沉积法由于其装置结构 简单，操作成本低廉，喷涂效率较高，而受到广泛关注，然而必须依靠大量的尝试性试验来得到静电喷涂过程中 各种影响因素的最优组合。本文采用三维拉格朗日模型研究了静电喷涂过程纳米粒子的运动轨迹和沉积特性，并 且通过实验验证了本文提出的数值模拟方法的可靠性。研究了固定静电喷涂设备以后的三个重要操作参数：溶液 介电常数、外加电压和掩膜上电荷密度对粒子沉积特性的影响，研究结果表明随着溶液介电常数的增加，喷涂面 积而且也相应的增加；通过增加外加电压，也能增加喷涂面积。证实了可以通过改变掩膜表面电荷密度来控制基 板上纳米粒子的沉积特性，且高的表面电荷密度会产生较为聚集的沉积形貌。 关键词：静电喷涂；纳米形貌；沉积特性；拉格朗日模型 引言 纳米粒子的表面沉积是采用纳米粒子实现纳米器件独特性能的先决条件，与其他表面沉积技术相比， 静电喷雾沉积 （Electrostatic Spray Deposition ）由于其沉积效率高、高分辨率、形成的图案比较均一、对纳 [1] 米粒子粒径的可控性等优势 而被应用于各种工艺过程，例如质谱法的制样、聚合物涂层、蛋白质薄膜的 [2-4] 制备、太阳能电池中有机薄膜的成形、燃料电池和喷墨印刷等 。 静电喷雾是一种结合液体表面张力与电场力的雾化方法，它通过连接高压电压的喷嘴，与接地的极板 之间形成一个电场梯度，当喷嘴出口处液体的表面张力与电场力处于平衡状态时，会形成一个圆锥形状， [5, 6] 称为泰勒锥，并产生溶液射流 。粘性溶液的不稳定性导致射流区分裂出带同种极性电荷的液滴，这些 液滴会经过一系列的裂变，产生直径更小的液滴，直到液滴中的溶剂完全蒸发，最后变成纳米粒子沉积在 [7] [8, 9] 基板上。这些纳米粒子有近单分散的粒径分布 ，可以通过调整工艺参数准确地控制它们的平均粒径 。 为了获得最佳的操作条件，必须认真研究静电喷涂过程中的各种参数，如果完全依靠实验，需要进行 大量的尝试性试验，也不太现实。近年来，数值模拟技术已经很大的发展，并成为学术和工业领域中不可 [10] 或缺的工具。Gañán-Calvo 等人 建立了描述静电喷雾过程中液滴在周围介质中运动的数学模型。 [11] Wilhelm 等人 利用拉格朗日模型追踪单个液滴的方法，研究了带加热基板的静电喷雾过程中液滴的运 [12] 动，蒸发以及沉积特性，并进一步预测了液滴分裂的初始直径和最终直径。Jung 等人 通过改变喷嘴与基 板之间电压、喷嘴的移动速度和喷嘴与基板之间的距离，研究了多喷嘴设备中粒子的喷涂演化过程和沉积 1) 基金 2) Email: guzhaoln@mail.xjtu.edu.cn - 1 - [13] 特性。Kim 等人 报道了通过同时喷涂带电离子和带电纳米粒子，在基板表面形成纳米粒子聚集的思路。 [14] Tang 等人 研究了硅基板上带电粒子自组装过程，同时还通过实验和蒙特卡罗模拟讨论