采用二元光学位相板修正干涉仪系统误差.pdfVIP

采用二元光学位栩扳修正二F涉仪系统误莲’ 宋雪梅徐敏何士雅江铁良 (北京工业大学应用物理系) 吴振华臧甲鹏 (北京光学仪器厂) 摘 要 量斯别理论和几何光学方法设计：二元光学位柱；板，制锡了适用亍‘l≥定干涉他的二元光 学位相板，著利用该位相板修讵干涉仪系统误差，得到了令人满毫a≈；☆粜。 【关链字】二元光学位相板，误差修ni，Zernike多项式，图像处j!。 一、引言 什即相息图(Kinofomjl4 制，未得到大范围的普及。随着计算机技术、计算全息、相启、图以及大规模集成电路 制作工艺的发展，人们将这些技术综台在一体，利用i}算机设计衍射陶，通过微电予 加工技术直接在光学利料上制作表面浮雕，灵活地控制波60位相和光线偏折，形 --I’]新兴的光学技术15】——二元光学，它被称为九-t一年代的光学l61。由于二元光学 衍射效率高、体积小、制作方便、用途广等优点，一出现就千导到了迅速的发展和 成具广差 了有泛的 的应用。本文拟将二元光学器件应用于修{F干涉仪的误差。完成了干涉仪系统误 自动测§!、修-1i和球丽镜丽形自动检测的微机软硬仆系统。 二、二元光学位相板修正干涉仪误差 待蟛正的干涉仪结构如图l所示．图中采『1]一个标准球面镜SMJ．{：如该【一涉伙系 是一种衍射元件，应采用衍月j理论柬设计二元光学元件，但是钙饯 统元小 的件， 又可采用波动光学近似“々方法米分析。下面分别i-j论这两种情搿，。 一 一 + 北京市自然科学基金资助项目，编号4952007 一一 Z 圯；：位{【|扳 球山j镜 止球嘶{l BSP分柬拙镜 L：聚生基镜 P：拉收Ⅲ gl录川二元光’学位相扳修止干涉仪误筹 Z．1采用标量衍射理论设计：二元光学’。立相扳 设所需修正的并换算弱圈2中!clj_1l二l坐标上的干涉 收误差为P’矗∽’_’。位帽板放置在：：In：l坐标中，设 {——1 位相板上所蚀刻的位}目为：≯’xl，jm，当光入射到 —莉“w xt)·IZl平面内时可得： ～弋纠殳／ eJ≯’㈦川 U(x1．Yl,21)=8’6 2㈣＼， 当球面波传播到x23，2／72坐标平面时，}I』基尔霍夫 衍射理论l7’可得：