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硅酸盐通报1997年增刊
采用国产设备提高镀膜玻璃生产能力与产品质量
殷新建
(国家建材局蚌埠玻璃工业设计研究院233018)
摘要:本文论述了水平双端磁控溅射镀膜玻璃生产线的设计建设经验,设计中突破了国内传统的工艺带置形式;
采用新的技术方案,并且对预处理等辅助设备的选型进行丁大胆革新。生产线建成投产后,各项技术经济指标有
明显的提高,随着市场不断拓展,经济效益明显上升。
关键词:镀膜玻璃,磁控溅射,玻璃镀膜,光透过率,真空度
1.引 言 高,使销售困难。
近年来,随着国民经济的持续增长,建筑装 (5)产品的质量稳定性差,生产的长期稳定
饰行业迅速崛起。镀膜玻璃以其独特的装饰改 性差。国产设备连续生产的稳定性差的原凶是
性功能和显著的节能效果,被广泛采用作为建筑 多方面的,如真空设备的性能,设备机械加工水
物的装饰幕墙。据不完全统计,国内引进的镀膜 平不高等,但工艺布置的不合理也有很大关系。
玻璃生产线已有二十多条(以下统称引进设备),
国内研制开发以及翻版制造的镀膜玻璃生产线 2.镀膜原理
则有近二百条,其中采用水平卧式双端磁控溅射 平面磁控溅射镀膜玻璃生产线工艺流程图
法生产的有二十多条(以下统称国产设备)。目 如下:(图1)
前国产设备虽然数量上占优势,产品质量与引进 初检
‘
设备羞距不大,但产品的品种,生产规模与引进
上片
设备羞距较大,尤其是产品的生产率明显低于同 ‘
等规模的引进设备,主要表现在以下几个方面: 清洗、干燥
(1)国产设备从开机到正常生产所需的抽
进线检验
真空时间比较长,~般需要大约60--120分钟;
而引进设备只需60分钟左右。 进线预储
(2)单片镀膜玻璃的生产时间较长。国产 (一级真空锁定)
设备镀制8%透过率的单质膜,一般需要约6 进线高真空
(二级真空锁定)
分钟,而引进设备均在4分钟以内。 进线真空缓冲
(3)生产线自动化水平低于引进设备。国 (三级真空锁定)
产设备相当于国外八十年代中期的水平。引进 镀膜
(三级且空锁定)
设备的取片装载、卸片、充气计量、自动报警等
出线真空缓冲
都采用PLC程序控制,计算机模拟显示生产过 (--级真空锁定)
程,实现了完全自动化生产。国产设备虽然采 出线高真空
(一级真空锁定)
用PLC程序控制,但取片装载、卸片、充气计量
出线预储
等工作基本上都是靠人工操作实现的。
(4)机械加工水平
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