偏压对CrTiAlN镀层组织形貌及磨损性能的影响.pdfVIP

维普资讯 第27卷 第5期 材 料 热 处 理 学 报 V01．27 No ．5 2006年 10月 TRANSACTIONSOFMATERIALSAND HEATTREATMENT October 2006 偏压对 CrTiAIN镀层组织形貌及磨损性能的影响 自力静 ， 张国君 ， 蒋百灵 (1．西安交通大学材料学院，陕西 西安 710049； 2．西安理工大学材料学院，陕西 西安 710048) 摘 要 ：利用 闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制备 了耐磨 CrTiAIN镀层 ，分析了溅射偏压对该镀层 的形貌 、相结构以及磨损性能的影响 。研究表明：偏压对镀层 的形貌 、相结构 以及与摩擦学性能有关 的 摩擦系数、硬度 、结合力以及磨损率等参数都有影响。在制备 CrTiAIN镀层的过程 中，当偏压为 一75vn~ 镀层的耐磨损性最好 ，当偏压在 一65V一一85V变化时 ，镀层形貌的变化对镀层 的磨损性能无 明显影响， CrTiAIN镀层相结构 的变化是影响磨损性能的主要原因。 关键词 ：偏压 ； CrTiAIN镀层 ； 形貌 ； 相