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第 11 卷 第 4 期 强 激 光 与 粒 子 束 . 11, . 4
V o l N o
1999 年 8 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S A ug. , 1999
( )
文章编号: 1001- 4322 1999 04- 0428- 05
类 N i 稀土 X 光激光波段衰减膜
的设计与研究
汤学峰, 顾 牡, 周 斌, 杜保旗, 祁金林, 赖珍荃, 陈玲燕
( 同济大学玻耳固体物理研究所, 上海 200092)
摘 要: 对类N i 稀土X 光激光波段衰减膜进行了设计, 并根据设计结果, 利用磁控溅
射和旋转涂覆法分别制备了自支撑的A g 衰减膜和聚苯乙烯(C H ) 衰减膜。利用真空 能谱
8 8
测厚仪和 100 台阶仪分别对衰减膜的质量厚度和均匀性进行了测量, 用 电子能
step A uger
谱( ) 对 衰减膜进行了表面杂质分析。
A ES A g
关键词: 衰减膜; 聚苯乙烯衰减膜; 真空 能谱测厚仪; 俄歇电子能谱( )
A g A ES
中图分类号: TN 243 文献标识码: A
在软 X 光激光实验中, 为了保证谱仪工作在线性区, 一般需要在谱仪入射狭缝和光栅之
间插入适当质量厚度的衰减膜, 由衰减膜的衰减系数和谱仪记录到的谱线强度推知软X 光激
光的强度和增益系数。因此衰减膜及其性能的研究对于精确测定软X 光激光强度和增益系数
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具有十分重要的意义 。
目前伴随着生物全息照相技术等应用领域的发展, 要求X 光激光的研究向短波长特别是
“水窗”方向推进。电子碰撞类 机制相对类 机制来说, 获得的波长更短、能量利用效率更
N i N e
[ 2 ]
高 。近年来我国正在开展5. 0～ 8. 0 波段类 稀土元素 、 、 、 软 光激光实验
nm N i N d D y E r Yb X
[ 3 ]
研究, 并观测到类 稀土 、 、 的软 光激光输出 。当软 光激光达到增益饱和时,
N i D y E r Yb X
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