CVD金刚石厚膜刀具及应用研究.pdfVIP

2010年o4月 第 2期 金刚石与磨料磨具工程 Apr．2010 第30卷 总第 176期 Diamond AbrasivesEngineering No．2 Vo1．30 Seria1．176 文章编号：1006—852X(2010)01—0029—06 CVD金刚石厚膜刀具及应用研究 邓福铭 卢学军 赵志岩 刘瑞平 李文铸 (1．中国矿业大学 (北京)超硬刀具材料研究所，北京 100083) (2．北京迪蒙特佳工模具技术有限公司，北京 100083) 摘要 热丝 CVD法沉积金刚石厚膜为全 晶质纯多晶金刚石材料，是制造切削刀具的理想材料 。本文针 对国内外CVD金刚石厚膜焊接刀具研究与应用中存在的关键技术问题，结合我所近期相关技术研究进 展 ，重点介绍 了其制造工艺及关键技术。 关键词 化学气相沉积(CVD)；CVD金刚石厚膜；刀具 中图分类号 TQ164；TG58 文献标识码 A DOI编码 10．3969／j．issn．1006—852X．2010．02．007 Research onchemicalvapordepositeddiamondthick film toolanditsapplications DengFuming LuXuejun· ZhaoZhiyan LiuRuiping LiWenzhu (1．InstituteofSuperhardCuttingToolMaterials，ChinaUniversityofMiningandTechnology(Beoing)， Be~iing100083，China) (2．BeoingDiamondBestCuttingToolandWireDrawingDiesTechnologyLtd．Co，Beijing100083，China) Abstract CVD diamond thickfilm，synthesizedbyhot·filamentchemicalvapordepositionmethod，ispure polycrystallinediamond．Itisanidealmaterialformanufacturingcuttingtoolsowingtoitsexcellentstructureand properties．Thisreview isofcusedon thekeytechnologydevelopmentin themanufactureandapplicationsof CVD diamondthickfihncuttingtoolsbasedonourlatestresearchworks． Keywords chemicalvapordeposition(CVD)；CVDdiamondthickfilm；cuttingtools 金刚石具有许多优异的物理力学性能，如超高硬 O 引言 度，极高的耐磨性，极高的热导率，极低的摩擦系数，因 随着汽车、航空和航天工业的迅速发展，对材料的 而是制造切削刀具的理想材料。一方面由于天然金刚 轻质量化、高比强度 的要求 日益提高，有色金属及合 石资源极为有限，且价格 昂贵；另一方面，由于单晶金 金、碳纤维增强塑料、玻璃纤维增强塑料、纤维增强金 刚石具有解理面，冲击韧性较低，限制了其在工业中大 属以及石墨、陶瓷等新材料在工业中的广泛应用，普通 规模的推广使用。采用高温高压法烧结的聚晶金刚石 的高速钢和硬质合金刀具难 以胜任对这些材料的机械 (PCD)刀具材料虽然具有各向同性从而解决了单晶金 切削加工。此外