大孔径内孔表面金刚石薄膜涂层的制备.pdfVIP

2009年 10月 金刚石与磨料磨具工程 0ct．20o9 第5期 总第 173期 Diamond AbrasivesEngineering No．5 Seria1．173 文章编号：1006—852X(2009)O5—0013—04 大孑L径 内孑L表面金刚石薄膜涂层的制备 郑 华 ，孙方宏 ，彭东辉 (1．上海交通大学机械与动力工程学院，上海 200240) (2．上海化工研究院，上海 200062) 摘 要 应用热丝化学气相沉积 (HFCVD)工艺，并采用合适的衬底预处理方法和优化的工艺参数，在 大孔径硬质合金内孔表面沉积了金刚石薄膜。分别采用SEM、EDS和喇曼光谱依次对衬底预处理前后 内孔表面及沉积的金刚石薄膜进行了表征，并通过压痕实验评估了薄膜的附着强度。该压痕实验结果 与薄膜的SEM及喇曼光谱表征的结果具有一致性。结果表明：采用合适的衬底预处理方法和优化的 HFCVD工艺，可以在大孔径硬质合金内孔表面沉积高质量的金刚石薄膜。 关键词 金刚石薄膜 ；衬底预处理；热丝化学气相沉积 中图分类号 TQ164 文献标识码 A Fabrication ofdiamondfilmson theinteriorsurfaceoflargehole ZhengHua SunFanghong PengDonghui (1．SchoolofMechanicalEngineering，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China) (2．ShanghaiResearchInstituteofChemcialIndustry，Shanghai200062，China) Abstract DiamondfilmsweredepositedontheinteriorholesurfaceoftheC0一cementedcarbidewithlarge apertureusingsuitablesubstratepre——treatmentandoptimum process——parametersbyhtebias——enhancedhot filamentchemicalvapordeposition (HFCVD) process．SEM，EDS and Raman spectrometerwere， respectively，contributedtocharacterizingan—pretreatedandpretreatedsubstratesurfacesanddiamondfilms； and the adhesion of the filmswasevaluated by RockwellHradness test，which was agreed by htose chraacterizationsofSEM andRamanspectrometer．Resultsshowedthatsatisfied—qualitydiamondfilmscould beobtainedoninteriorholesurfacesofW C—·Cosubstrateswithlargeaperturebyemployingoptimum substrate pre—treatmentandHFCVD process． Keywords diamondfilms；substratepre—treatment；HFCVD 的不断发展和完善，CVD金刚石薄膜的质量如致密 0 引言 度、均匀性、表面粗糙度及附着强度等方面的要求均得 采用化学气相沉积 (CVD)法可 以在多种金属或