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第38 卷第2 期 长春理工大学学报 （自然科学版） Vol.38 No.2 2015 年4 月 Journal of Changchun University of Science and Technology （Natural Science Edition ） Apr.2015 基于PI模型的AFM压电陶瓷执行器迟滞误差补偿 邱宗瑞 （长春理工大学 电子信息工程学院，长春 130022） 摘 要：本文针对原子力显微镜 （Atomic Force Microscopy，简称AFM）迟滞特性易降低扫描图像精度，根据微位移测 量的方法建立了可以精确描述AFM系统中压电陶瓷器执行器 （Piezoelectric Ceramic Transducer，简称PZT）迟滞误差模 型并提出了合适的误差补偿方法。首先，原子力显微镜作为测量工具，获得一系列特征样品的扫描图像，通过计算扫描图 像数据计算出压电陶瓷的微位移。接着，依据微位移数据建立AFM系统中压电陶瓷执行器迟滞误差模型。最后，通过对 压电陶瓷PI （Prandtl-Ishlinskii）迟滞误差模型解析求逆进行补偿控制方法研究。实验结果证明，PI迟滞误差模型可以精确 描述AFM系统中压电陶瓷执行器的迟滞现象，基于该模型的补偿控制方法可以有效减小迟滞误差，是提高AFM系统中压 电陶瓷执行器定位精度的一种有效方法。 关键词：原子力显微镜；定位精度；补偿控制 中图分类号： TP202+.2 文献标识码：A 文章编号：1672-9870（2015）02-0081-04 HysteresisErrorCompensationof AFMPiezo-ceramicActuatorBasedonPIModel QIUZongrui （Schoolof ElectronicsandInformationEngineering，ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun130022） Abstract：Complex nonlinear hysteresis exists in Atomic force microscopy （AFM），which can lead to the accuracy re- duction of scanned image easily. Hysteresis error model of piezo-ceramic actuator was established accurately in AFM based on micro-displacement measurement method. An appropriate error compensation method is also presented. Firstly， a series of features of the scanned sample image are obtained by AFM as a measurement tool. The micro-displacement of the piezo-ceramic actuator is calculated through the image data. Hysteresis error model of piezo-ceramic actuator is established in AFM system based on the micro-displacement data. Finally，compensation method of hysteresis error is studied by resolving the inverse solution of the PI （Prandtl-Ishlinskii）hysteresis error model. Experimental results show PI model can describe the hysteresis error phenom