模具钢表面连续激光沉积TiN类薄膜的研究.pdfVIP

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模具技术

维普资讯 模 具 技 术 2006N.o.5 7 文章编号:1001.4934(2006)05.0007.04 模具钢表面连续激光沉积 TiN类薄膜的研究 葛柏青,段来根,郎荣兴 (常州机电职业技术学院 模具技术系,江苏 常州 213164) 摘 要:利用波长为 10.6gm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法,在模具钢基体上 沉积TiN类薄膜。采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构。实验表 明,当激光功率为600W,扫描速度为2mm/s,通过H2、N2和TiC14之间的化学反应,在模 具钢表面获得了均匀致密的枝晶组织,其显微硬度最高可达2500HV。 关键词:模具钢;激光化学气相沉积;薄膜 中图分类号:TG174.444 文献标识码:A Abstract:TheTiN thinfilm wasproducedondiesteelsubstratebywavelengthof10.6gm C02 continuallaserchemicalvapordeposition (LCVD).Themicrostructureandmorphologyofthe TiNthinfilm werecharacterizedbyX-raydiffraction (XRD),opticalmicroscope (OM ), scanningelectronmicroscope (SEM ),andenergydispersespectrometer(EDS).There— sultindicatedthatonlywhenthelaserpowerwas600W andscanningvelocitywas2mm /s, throughreactionofH2,N2andTIC14,theTiN film wouldbedepositedondiesteelsubstrateby LCVD withdensedendriticstructureand2500HV micro.hardness. Keywords:diesteel;LCVD;thinfilm 0 引言 通化学气相沉积的高反应温度,物理气相沉积 的绕镀性差和等离子体化学气相沉积薄膜含杂 随着模具成形加工技术的不断发展,对模具 质量较高等一系列的缺点…。近年来,该技术己 制造材料的要求也越来越高。如何提高模具材料 成功应用于半导体、光学、高熔点薄膜材料等方 的表面硬度、耐磨性、抗咬合性等性能指标,延 面,随着新形式连续可调波长的高能量激光器 长模具的使用寿命是模具行业亟待解决的重要问 的发现以及新气源的合成,LCVD技术将在更 题之一。由于TiN类薄膜具有金黄色光泽、化学 泛的制膜领域 内得到应用 。本工作采用 白行研 稳定性好、熔点高、硬度高,同时还具有 良好的 制的新型连续激光沉积装置,在惰性气体氛围 韧性和耐腐蚀性以及低的摩擦系数,因此TiN类 中对Crl2MoV、Hl3等模具钢表面进行沉积强 薄膜可以应用于耐磨涂层、装饰涂层、金属切削 化,并研究了不同基体材料的TiN薄膜沉积特 和金属加工等先进模具材料制造方面。 性 。 激光化学气相沉积 (LCVD)技术将激光激 励过程引入到化学气相沉积过程 中,克服 了普 1 试验方法 收稿 日期:2006—06—22 基金项 目: 江苏省教育厅 自然科学研究指导性项 目 (04KJD430011) 作者简介:葛柏青 (1976~),男,讲师。

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