五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析.pdfVIP

第44卷第2期 红外与激光工程 2015年 2月 VO1．44NO．2 InrfaredandLaserEngineering Feb．2015 五棱镜扫描技术检测大 口径平面镜的误差分析 戚二辉 1,2，罗 霄2,3，李 明1,2，郑立功2,3，张学军2,3 (1．中国科学院大学，北京 100049； 2．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ，吉林 长春 130033； 3．中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室，吉林 长春 130033) 摘 要 ：五棱镜扫描检测具有结构简单 、检测周期短等优点，可以实现大 口径平面镜低阶像差的高精 度检测 ，是指导大口径平面镜光学加工过程的一种有效途径。为使大口径平面镜检测系统 中的五棱镜 扫描技术更加完善，通过理论分析和计算模拟，对五棱镜检测系统中的主要误差源，包括五棱镜制造 误差、温度梯度的影响、元件位置误差、光束定位误差、自准直仪测量误差等进行研究，形成 了比较完 善的误差分析的数理结果。计算结果表 明，在当前实验室技术条件下，五棱镜扫描检测系统在单个测 量点处的测量不确定度达到 230nrad，其 中影响五棱镜检测系统测量精度的主要 因素为 自准直仪的 测量精度与温度的影响。研 究结果给 出了工程 实际中提 高五棱镜扫描系统检测精度与减小测量误差 的注意事项，并可用于指导系统设计时的误差分析及精度分配。 关键词 ：测量 ； 光学检测； 五棱镜扫描系统 ； 光线矢量追迹 ； 误差分析 中图分类号 ：0439；TH741 文献标志码 ：A 文章编号 ：1007—2276(2015)02—0639—08 Erroranalysisofscanningpentaprism system in opticaltesting on largeapertureflatm irror QiErhui，LuoXiao ，LiMing一，ZhengLigong2一，ZhangXuejun’。 (1．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China；2．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsnad Physics，ChineseAcademyofSciences，Chna gchun 130033，China；3．KeyLaboratory ofOpticalSystem Advna cedManufacturing Technology，ChineseAcademyofSciences，Chnagchun130033，China) Abstract：The scanning pentaprism system hasadvantage ofsimple structure，quick opticaltesting and providing precise measurementoflow orderaberrations，itis an effective method forguiding optical mnaufacturingoflargeaperture fiatmirror．In orderto improvehtescnaningpentaprism technology，this lettermakesdetailed analysisontheerror sourcesincludepentaprism manufacturing error，htermaleffect， components position motion，mapping error，autocollimator measurement uncertainty in hte scanning pentaprism syst