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微流量控制系统的研究 　　【摘 要】本文设计制作了一种由PZT驱动的无阀微型泵，和由微沟道组成的微流量控制系统。其中无阀单向阀是由等腰梯形扩散/收缩管组成，泵腔采用圆形设计，直接切除成圆形驱动腔弥补了利用腐蚀工艺制作圆形难以实现的不足。通过计算机软件IntelliSuite对制作工艺的模拟，确定了无阀型微泵、扩散/收缩管微阀和微沟道的制作方案。采用MEMS工艺制作出所设计的部件并组装完成微流量系统。同时引用多方文献分析了扩散管的角度、长度和最小口宽度分别对扩散管整流效率的影响，优化了无阀型单向阀扩散/收缩管的结构参数，对进一步提升微泵的性能奠定了基础。 　　【关键词】微流量系统 微泵 微沟道 扩散/收缩管 　　一、绪论 　　（一）MEMS 　　微电子机械系统 MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的缩写，它是以微电子、微机械及材料科学为基础，研究、设计、制造可批量生产、集电子元件与机械器件于一体的微小系统。完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯电路和电源部件组成的一体化微系统，其目标是把信息的获取和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，MEMS的制作主要基于两大技术：IC技术（Integrate Circuit）和微机械加工技术（Micromaching），其中IC技术即为普通集成电路制造技术，而微机械加工技术是为微传感器、微执行器和微电子机械系统制造微机械部件和结构的关键加工技术，它是在IC工艺上发展起来的，主要包括体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术（利用X光深层曝光、电铸、机械加工）、准LIGA技术（改进的LIGA技术，采用传统深紫外线曝光、厚光刻胶作掩膜和电铸技术，与IC工艺兼容性好）、微机械组装技术。 　　（二）微流量系统 　　微流动系统作为微机电系统的一个重要分支，近年来取得了很大的进展。微流动系统是由微型泵、微型阀、微型传感器、微沟道、微制动器等微型流动元件组成的，可进行微量流体的压力、流量和方向控制及成分分析的微电子机械系统。作为微机电系统的一个较大分支，微流动系统同样具有集成化和大批量生产的特点，同时由于尺寸微小，可减小流动系统中的无效体积，降低能耗和试样用量，而且响应快，因此有着广泛的应用前景；如液体和气体流量配给、化学分析、微型注射和药物传送、集成电路的微冷却、微小型卫星的推进等。微流动系统是现在过内外研究的重点和热点。 　　（三）微泵 　　微型泵作为微流体系统中的主要执行器件，是表征微流体系统发展水平的重要标志。最早的微型泵是荷兰Twente大学研制的热气动薄膜泵（日本东北大学同一时期也研制出压电致动薄膜泵）目前，微型泵的研究无论是从工作原理等理论角度，还是从加工工艺等实践方面都已经有了较大进步。微泵的类型多种多样，按驱动方式可分为压电致动式、气动式、热气动式、热机械驱动式以及静电致动式；按工作过程可分为往复式、蠕动式、电气液力式以及超声波式。泵体结构也有多种选择。泵体的制备工艺和材料选择也发展得很迅速，如LICA技术，DEM技术、高性能、低成本的塑料热压成型技术，甚至传统的塑料材料及其工艺都可用来制作泵体。另外，微泵根据其有无可动阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵。有阀型微型泵往往基于机械驱动，原理简单，制造工艺成熟，易于控制；而无阀型微型泵则常常利用流体在微尺下的新特性，原理新颖，更适于微型化，具有更大的发展前景。 　　（四）微沟道 　　目前，为流量控制系统的研究主流是单片集成式，主要采用MEMS技术进行制作，为了提高微流量系统的性能，对MEMS系统中微沟道内流体阻力的研究从未间断过，最近的研究主要集中于不同形状的微沟道转角的流体阻力和直流沟道内微突起的阻力情况。随着MEMS技术的发展，微流量系统的尺寸越来越小，由微米量级到纳米量级。当结构尺寸达到微米以后，不是传统的流体驱动与控制系统简单的几何缩小，两者在建模和仿真上存在很大差别。主要体现在以下几个方面：多能量域耦合所带来的多学科交叉渗透。由于微流体的致动方式有：电磁致动、静电致动、压电致动、形状记忆合金致动、热致动、化学反应致动、表面张力致动、离心力致动等。各种物理场如机械、流体、电子、热、光、磁等相互作用，形成力-电-磁-热等耦合的非线性系统，增加了建模和仿真的复杂性；尺度效应所引起的作用力的变化。当尺度减小时，微流体器件的表面积与体积之比大大增加，与体积力相比，表面力起主要作用，表面力成为微流动系统中摩擦力的主要来源；材料特性的变化。当材料尺寸小到一定程度时，就会出现与大尺寸材料截然不同的性能。又由于制备方法的不同，还会引起材料性能的差异，如抗拉强度，断裂韧性和残余应力等均有变化。对于宏观力学系统，经典的牛顿力学和流体力学理论是建立微流动系统数学