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_Ba_Sr_TiO_3薄膜制备技术新进展.pdf
第 16 卷 第 4 期 金属功能材料 Vol 16 , No4
2 0 0 9 年 8 月 Met allic Functional Mat erial s Augu st , 2009
( Ba , Sr) TiO3 薄膜制备技术新进展
单志强 ,丁淑芳
(黑龙江科技学院 资源与环境学院 ,黑龙江 哈尔滨 150027)
摘 要 : (Ba ,Sr) TiO3 (简称 B ST) 铁电薄膜材料是 目前国际上新型功能材料研究的热点之一 ,本文综述了钛酸锶
( )
钡 B ST 铁电薄膜 目前最常用的4 种制备工艺 ,并简要介绍了B ST 目前的研究进展 、微观结构 、性能及应用 ,深入
分析了B ST 铁电薄膜主要制备技术的优缺点 ,指出了目前铁电薄膜及其制备技术研究中应注意的问题 。
( )
关键词 : Ba ,Sr TiO ; 铁电薄膜 ; 制备方法
中图分类号 :O484 . 1 文献标识码 :A 文章编号 :1005 - 8192 (2009) 04 - 0053 - 04
Synthesis and Ne w Development of ( Ba , Sr)
TiO3 Ferroelectric Thin Fil ms
S HAN Zhiqiang , D IN G Shuf ang
(Dep tof Resources and Environment , Heilongj iang In stit ut e of Science Technology ,
Harbin 150027 , Heilongj iang , China)
Abstract : B ST ferroelect ric t hin film i s one of t he new functional mat erial s wit h att ractive app lication p ro sp ect s The
p rep aration of t he ferroelect ric t hin film wa s described The micro st ruct ure , charact eri stic and application of ferroe
lect ric t hin film s were st udied The advant ages and di sadvant ages of different p rep aration met hods are di scu ssed
Some research p roblem s of t hi s mat erial which need to be p aid more att ention to are p ut forwar d
Key words : (Ba ,Sr) TiO ; ferroelect ric t hin film ; p rep aration
点 ,可广泛应用于微电子学 、光电子学和微机械学等
1 引 言 [ 3 ]
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