采用Talbot效应莫尔条纹的子波面斜率测量.pdfVIP

维普资讯 第34卷第 11期 光电工程 V0．1．34．No．11 2007年 11月 Opto—ElectronicEngineering NOV,2007 文章编号：1003—501X(2007)1卜0061—04 采用Talbot效应莫尔条纹的 子波面斜率测量 侯昌伦，徐建锋，白 剑，杨国光 (浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室 微系统中心，浙江 杭州 310027) 摘要：为了实现大口径长焦距透镜波面精确测量，提出了一种基于朗奇光栅泰伯效应、莫尔条纹技术的子波面斜 率测量方法。当子孔径光束照射在朗奇光栅上时，在光栅后周期位置出现光栅的泰伯像，如果将另一朗奇光栅放 在光栅泰伯像的位置，在这块光栅后就会形成莫尔条纹，莫尔条纹会因子孔径光束的斜率微小变化而产生移动， 通过计数移动的莫尔条纹数就可以得出子孔径光束的波面斜率。丈章推导了子波面斜率的计算公式并进行了理论 分析，从实验上对理论分析进行了验证。这种方法能够用于大口径波面检测中子孔径波面斜率的精确测量。 关键词：子波面斜率；Ronchi光栅；Talbot效应；莫尔条纹 中图分类号：TN247 文献标志码：A Sub·wavefrontslopemeasurementbased onTalboteffectmoir6fringetechnology HoUChang-lun，XUJian-feng，BAIJian，YANG Guo-guang (StateKeyLaboratoryofOpticalInstrument，MicroSystemCenterforResearchandDevelopment, ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：In orderto completewavefrontaccuratemeasurementoflargeaperturelong focallens，amethod for sub—wavefrontslopeoflrageaperturelensmeasurementbasedonTalboteffectmoir6rfingetechnologyispresented． WhenaRonchigratingisilluminatedbyasub-aperturebeam，Talbotimagecanbeobtainedatperiodicdistancebehind theRonchigrating．IfnaotherRonchigratingisputat thelocationoftheTalbotimage．moir6fringewillappera behind thisgrating．Moir6rfingemovessensitivelywhentheslopeoftheilluminatingsub—aperturebema chna gesslightly,SOthe slopeofsub—aperturebema Cna bemeasuredaccuratelybycountingthenumberoftheshiftedmoir6rfinge．Theformula ofcalculatingthena gleofsub—wavefrontsloperfom theshiftedmoir6fringenumbersisderived．Theexperimentdatais consistentwiththetheoreticalna