非制冷红外FPA结构设计及物理特性有限元模拟.pdfVIP

维普资讯 第32卷第 12期 光电工程 Vo1．32，No．12 2005年 l2月 Opto-ElectronicEngineering Dec，2005 文章编号：l003—50IX (2005)12—0025—05 非制冷红外FPA结构设计 及物理特性有限元模拟 石莎莉 1,2，陈大鹏 ，欧 毅 ，叶甜春 (1．中国科学院微电子研究所，北京 100029； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：提出了一种薄膜式镂空双材料单层膜微悬臂梁结构的非制冷红外焦平面成像阵列(FPA， FocalPlateArray)。通过测量热膨胀系数相差较大的两种材料构成的悬臂梁受到红外辐射后的热形 变分布，得到红外源的温度分布，从而实现在基于光力效应的光学读出系统中成像的目的。ff,J~ 解析法建立了单层膜悬臂梁结构的热机械模型，用有限元软件对其优化参数下的热学性能和耦合 特性进行了有限元的计算机模拟与分析。模拟热机械灵敏度结果为 2．49x10一deg／K，与热机械模 型预测结果基本一致，为FPA的结构设计提供了有效的参数依据。 关键词：MEMS；FPA；有限元；悬臂梁 中图分类号：TN213 文献标识码：A Finiteelementsimulationofthestructureandphysicalcharacteristics foranuncooledinfraredfocalplanearray SHISha．1i-，CHEN Da．peng ，OUYi，YE Tian．chun (1．TheInstituteofMicroelectronics，theChineseAcademyofSciences，Beijing100029，China； 2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，Beoing100039，China) Abstract：A bi．materialcantilevermicrostructurebasedonuncooledinfrared (IR)foca1．planearray (FPA)system ispresented．ThetemperaturedistributionofIRsourceisobtainedandtheopticalreadout system canreceivetheIR imagingresulton thebasisofmeasurementofthedistributionofthermal defonnationinthebi．materialcantilevermicrostructurewhichhasaverybigdifferenceincoefficientof thermalexpansion．With analytic method．the themr al-mechanicmodelforsingle-layercantilever microstructureissetup．Inthecaseofoptimizedparameters，thethemr alcharacteristicsandthecoupling fieldofitsstructurearesimulatedandanalyzedbymeansofthefiniteelementsoftware．A simulated themr a1．mechanicsensitivityresultiS2．49xl0一deg／K．whichiSbasicallyidenticaltowhatthethemr a1． mechanicmodelforecasts．Itoff