大型非球面主镜能动磨盘加工模型.pdfVIP

维普资讯 第32卷第l2期 光电工程 Vo1．32，No．12 2005年 l2月 Opto—ElectronicEngineering Dec，2005 文章编号：1003—501X(2005)11—0059—04 大型非球面主镜能动磨盘加工模型 汜--44- 斌 ’一，万勇建 一，杨 力 ，曾志革 ，邓建明 ，李晓今 (1．中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：大型非球面主镜能动磨盘；~S-(CCAL)是有别于传统加工和数控~-z-(CCOS)的新型加工工 艺。通过对能动磨盘结构的研究，建立了工件的能动磨盘磨削模型，分析了加工中的边缘效应， 并采用压强补偿的方法对磨削模型进行 了优化。在①l300mm(F／2)~球面主镜能动磨盘加工实验 中，以该优化的模型仿真的主镜h~Y--面形与经Hartmann．Shack传感仪检测的实际面形基本吻合。 关键词：光学加x-；非球面镜；能动磨盘；CCAL 中图分类号：TQl71．6 文献标识码：A M anufacturingmodelresearchofactivelapforlargeasphericmirrors FANBin一，WAN Yongqian，一，YANGLi，ZENGZhi．ge， DENGJian．ming，LIXiao-jin (1．ThehzstituteofOpticsandElectronics，theChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，BeOing100039，Chnia) Abstract：ComputerControllingActiveLap(CCAL)manufactureisanewmanufacutringtechnology comparedwithhtetraditionalmanufacutreandComputerControllingOpticalSurface(ccos)forlarge asphericmirrors．Theremovalfunctionmodelofactivelapisfoundbasedontheinvestigationofactive lap structureandworkingfeautres．Afteranalyzingtheedgeeffect，weoptimizethefoundedmodel throughthemethodofpressurecompensation．Themirrorsurfacepredicatedbytheoptimizedmodel abovebasicallymatchesthemirrorsurfacetestedbyHartmann—Shackwavefrontsensorduring the experimentsof中l300mm (F／2)asphericmirrormanufacutredbyactivelap． Keywords：Opticalmanufacutre；Asphericmirrors；Activelap；CCAL 引 言 在空间光学、天文光学等应用中，对大尺寸高陡度非球面光学元件的光学质量和加工技术提出了很高 的要求。经典的加工方法虽然技术上较为成熟，但具有固定曲率半径的大口径磨盘无法与工件的非球面面 形相匹配，在后期加工中人为的因素难以使加工精确量化，而且手工修抛效率低下；数控加工(cc0s)的技 术 日趋成熟，但在加工中很难有效控制工件的面形，而且由于磨盘 自身尺寸较小易产