分振幅斯托克斯参量的椭偏测厚方法.pdfVIP

第36卷第7期 光电工程 V_0l-36．No．7 2009年 7月 Opto—ElectronicEngineering July，2009 文章编号：1003—501X(2009)07—0100—07 分振幅斯托克斯参量的椭偏测厚方法 程敏熙，何振江，黄佐华 (华南师范大学 物理与电信工程学院，广州 510006) 摘要：为了实现对纳米级薄膜的快速测量，运用了基于分振幅斯托克斯参量测量的椭偏测厚的方法，对该方法中 的原理、计算和参量测量方法进行研究，并构建了实验系统。首先，设计了一个光路在同一平面上的分振幅斯托 克斯参量测量装置，用偏振片和 14／波片组合产生已知的偏振态来定标该装置，用4个性能一致的光电探测器实 现快速测量光束的斯托克斯参量。然后用实验系统测量纳米级薄膜样品的入射和反射偏振光的斯托克斯参量，求 得椭偏参量 和 ，再求得薄膜样品的厚度d和折射率 n。讨论了斯托克斯参量测量的误差问题，最后与常用的 消光法椭偏仪作了对比测量实验 测量结果与椭偏消光法比较，d和n的相关系数均大于85％，说明两仪器有很 好的一致性。实验研究表明，该方法通过测量入射光和反射光的偏振态，能快速测量纳米级薄膜的参数 系统构 建容易，调节方便，定标简单 关键词：斯托克斯参量；分振幅；椭偏参量；薄膜测量；椭偏测厚法 中图分类号：0436．3；TH744 文献标志码：A dol：10．3969~．issn．1003．501X．2009．07．019 AM ethodofEllipsometryBasedonStokesParameterswitha Division—of-amplitudePolarimeter(DOAP)System CHENGMin-xi，HEZhen-jiang，HUANGZuo-hua (SchoolofPhysicsandTelecommunicationEngineering, SouthChinaNormalUniversity，Guangzhou510006，China) Abstract：In orderto testthenanometerfilmsfast，amethodofellipsometry based on Stokesparameterswith a Division—of-amplitudePolarimeter(DOAP)wasintroduced．Thestructureofinstrument，theoreticalcalculationand praameterstestingwereinvestigated．Firstly,aDOAPwasdesigned，inwhichthelightpathwasinthesameplane．This wascalibratedbyknownpolarizationthatcombinedapolarizerwithonequarter-waveplate．Then，theStokesparameters couldbetestedquickly by useoffourphotoelectricdetectorswith thesalneproperties．Secondly,theellipsometric parameters(，)ofananometerfilmwereworkedoutbytestingtheStokespraametersofincidenceandreflectionlight onasamplewiththeDOAP．Th en，thethickn essandrefractiveindexofthesamplewereobtained．Thetestinger