光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制.pdfVIP

第 38卷第9期 光 电工程 Vbl-38．NO．9 2011年 9月 Opto—ElectronicEngineering Sept，2011 文章编号：1003—501X(2011)09—0050—05 光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制 武志鹏 ，陈兴林 ，刘 J (哈尔滨工业大学 控制科学与工程系，哈尔滨 150001) 摘要：为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度，采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微 动台完成高精度小行程运动，宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设 计控制器以提高控制系统的鲁棒性。根据频率整型法设计了时变滑模面，可以起到低通滤波的效果。变增益切换 控制律可以有效地减小抖振现象。仿真结果表明，曝光扫描过程中的最大位置偏差为8．7am，标准差为2．2nm。 扫描速度保持平稳，同时位置偏差信号的高频分量被有效抑制。 关键词：宏微控制；最优积分滑模面；滑模控制；工件台 中图分类号：TP273+．2 文献标志码：A do；：10．3969j／．issn．1003—501X．2011．09．010 SlidingM odeControlofM acro-m icroSystem for W aferStageofLithography W U Zhi—peng，CHEN Xing—lin，LIU Chuan (DepartmentofControlScienceandEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：Toimprovethetrackingprecision andrespond speed，amacro—microcontrolstructureischosenandthe actuatorsarethelinearmotorandvoicemotor．Themicrostageaccomplishestheshort—strokemovementandensuresthe hightrackingprecision，andthemacrostagemakeslarge—strokemovementtOkeepthatthevoicemotorisnotclosedto saturation．Thecontrolsystem isdesignedbasedonslidingmodecontroltheorytoensuretherobustoftheconrtolsystem ． Inordertoachievelow—passeffect，anoptimalintegralslidingsurfaceisdesignedbasedonfrequency—shapedme~od．A variablegainswitchcontrollaw isintroducedtoreducechattering．Simulationresultsshow thatthemaximum position trackingerrorandstandarddeviationis8．7nm and2．2an]duringthescanningexposureprocess．Scanningspeedis smoohtandhighfrequencycomponentsofpositionerrorsignalhavebeenreducedeffectively． Keywords：macro-microconrtol；optimalintegralslidingsurface；slidingmodecontrol；waferstage 0 引 言 工件台是光刻机设备的主要组成部分。由于对控制系统的跟踪精度和动态性能要求