光学镜面化学镀银中的敏化工艺研究.pdfVIP

第39卷第2期 光电工程 、，01．39．NO．2 2012年 2月 Opto—ElectronicEngineering Feb，2012 文章编号：1003—501X(2012)02—0130—04 光学镜面化学镀银中的敏化工艺研究 龚秀明，吴时彬，景洪伟 (中国科学院光电技术研究所 ，成都 610209) 摘要：介绍了光学镜面化学镀银工艺的基本流程及对膜层质量影响较大的敏化工序的原理和工艺，并对该工序中 的喷水量进行了理论计算和实验验证。对一块 365mm 口径的次镜进行镀膜实验 实验结果表明，均匀喷雾35S 左右能洗净敏化液中的cl一，并使水解生成的Sn(OH)2胶体均匀残留于镜面，镀制的Ag膜层质量较好。膜层检测 结果为：反射率为92％，厚度为60nn2，对面形的影响：PV=24／5，RMS=2／250，满足该次镜的检测精度要求。 关键词：光学镜面；化学镀银；敏化 中图分类号：TN804 文献标志码：A doi：10．3969j／．issn．1003—501X．2012．02．024 TheSensitizationTechnologyofChemicalSilveringforOpticalSurfaces GoNG Xiu-ming，W U Shi—bin，JINGHong—wei (InstituteofOpticalandElectronics，ChineseAcademyofScience，Chengdu610209，China) Abstract：Thebasicprocedureforthechemicalsilveringofropticalsurfacesisintroduced，theprincipleandtechnology ofthesensitizationisreported．andthetheoreticalanalysisandexperimentalvalidationofwatersprayingisgiven．An experimentwasperformedusingasecondarymirrorwith365mm indiameter~Bysprayingwaterofr35seconds，theC1一 insensitizercanbecleanedthoroughly,andtheSn(OH)2geliniteisleftontheopticalsurfaceuniformly．Thesilver coatingisvery good．Thesilvercoatinghasthe92％ reflectivity,60nm thickness．P }45andRMS=-2／250insurface change，whichmeetsthecoatingrequirementsofrthesecondarymirror． Keywords：opticalsurfaces；chemicalsilvering；sensitization - 0 引 言 化学镀银是比较古老的化学镀工艺之一，曾广泛用于制镜，现多为真空镀铝所取代。但是，化学镀银 也有真空镀铝(或银)无法比拟的优势：设备简单，镀膜速度快，镀膜全过程都在常温下进行，不会因高温 而使镜面面形发生变化(比较薄的光学元件在真空镀膜中的容易变形)。这些优势非常适合光学镜面加工中 的检测用镀银及检测用标准镜的镀银。近年来对化学镀银工艺研究相对较多的是非金属材料的金属化方面 [1-2] 。 报道的内容大多是为了提高Ag的利用率 而加入某些添加剂及镀银的一般性工艺流程的描述，对镀 银工艺中的敏化等关键工序过程，鲜见报道。 本文简要介绍了光学镜面的化学镀银工艺过程，并对其中的关键工序——敏化过程作了理论分析及实 验验证，照此操作可复现实验结果。 1 光学镜面化学镀银工艺 化学镀银的一般工艺流程为：清洗(除油)一粗化一敏化一镀银一清洗