回转体测量机的双向法在线温度误差补偿.pdfVIP

第40卷第 1期 光电工程 V0l1．40．NO．1 2013年 1月 Opto—ElectronicEngineering Jan．2013 文章编号：1003—501X(2013)01—0094—06 回转体测量机的双向法在线温度误差补偿 李杏华，洪 燕 (天津大学 精密测试技术与仪器国家重点实验室，天津 300072) 摘要：回转体测量机以其效率高、精度高，在回转类零件测量中得到了广泛的应用。但是由于其 自身的特点，测 量精度受温度影响引起的漂移误差可达 120pm。针对这一问题提出了一种在线温度误差补偿技术，通过双向法测 量获得内外测量架的平移量和倾斜量，然后再对各高度的内外径值进行补偿。该方法计算简单，使用方便，并大 幅度提高了测量精度。实验证明，这种补偿方法可以使尺寸测量结果的稳定性误差从 136gm降低到 15m左右， 大大提高了测量的稳定性。 关键词：回转体测量机；在线温度误差补偿；双向测量；平移和倾斜 中图分类号 ：TH711 文献标志码 ：A doi：10．3969~．issn．1003—501X．2013o1．015 TheM ethodofOnlineThermalErrorCompensationBasedonthe BidirectionalM easurementofRevolvingBodyM easuringM achines LIXing—hua．HoNG Yan (StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyandInstrument，TianjinUniversity，Tianjin300072，China) Abstract：Revolvingbodymeasuringmachinehasbeenwidelyusedinthemeasurementofrevolvingpartswithitshigh efficiencyandprecision．Howeve~duetoitsowncharacteristics，measurementaccuracyisaffectedbythetemperature andthedrifterrorisupto 120 n．Inordertosolvethisproblem ，amethodofonlinethermalerrorcompensationwas presented．Themethod canacquiretheoffsetandtileparametersofthegaugingspindleby using thebidirectional measurement，andthenusetheseparameterstocorrectthediameterofeachelevation．Themethodissimpleandeasyto use，andsignificantlyimprovesthemeasurementaccuracy．Theexperimentsshow thatthiscompensationmethodallows themeasurementresultsstabilityerrorofthesizetoreducetoabout15gm from 136gm．Andthemeasurementstabiliyt isgreatlyimproved． Keywords：revolvingbodymeasuringmachines；onlinethermalerrorcompensation；bidirectionalmeasurement；offset andtileparameters 0 引 言 回转类零件作为制造业中的关键零件被广泛应用于工业、航空、航天、国防等各领域中，使用回转体 测量机可以对回转类零件进行高精度高效率的