氖原子束计算全息编码成像模拟研究.pdfVIP

维普资讯 第 29卷第 4期 光 电工程 Vo1．29，No4． 2002年 8月 tO—Electronic Enzineerin Aug，2002 文章编号：1003501X (2002)040017—03 氖原子束计算全息编码成像模拟研究 石建平，陈旭南，高洪涛，陈献忠，罗先刚 (中国科学院光电技术研究所微细加_f=光学技术国家重点实验室，四川 成都 610209) 摘 要： 将计算全息技术、原子光学及微细加工技术相结合，得 出一种氖原子束计算全息编码成 像技术，它弥补 了利用激光梯度场控制原子堆积只能制作单一量子点、线等周期性图形的不足 。 对该技术进行 了模拟研 究，结果表明，可以制作所需的任意超微细结构图形，特征线宽可达纳米 量级 。 关键词： 纳米技术；计算全息；原子光学；激光冷却 中图分类号 ：TN305．7 文献标识码 ：A Simulationstudyoncomputer-generatedhologram codingimagingwithNeatom beam SHIJian-ping，CHEN Xu-nan，GAOHong-tao， CHENXian-zhong工，UO Xian-gang (StateKeyLaboratoryofOpticalTechnologiesforMicrofabrication，Instituteof Optics＆Electronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：Combiningcomputer—generatedhologram techniquewithatom opticsandmicrofabrication techniques，acomputer-generatedhologram coding imagingtechniquewithNeatom beam isobtained． Thetechniquesmakesupforhtedeficiencythatconrtollingatom stackingbymeansoflasergradient field can onlymanufacturetheperiodicpatternssuchassinglequna tum pointsandlines．Simulationis carriedoutforthetechniques．Theresultsshow itcanmanufactureanypatternswithultra-finestructure anditSfeaturelinewidthiSassmallasnanometerleve1． Keywords：Nano-·technology；Computer-·generatedhologram；Atomicoptics；Lasercooling 引 言 纳米科学技术是 21世纪信息技术的核心。纳米结构的加工制作技术已成为当前世界科学研究急需解 决的问题。美、日、德等发达国家对此十分重视，纷纷投入了大量的人力物力进行研究开发，出现了一系 列可以制作纳米量级图形的新光刻技术 ，如：离子柬、电子束、深紫外与波前工程相结合 、极紫外、X射 线等，但这些技术还不完善 。近年来 ，由于原子物理学关于激光冷却原子，并利用磁场和光场构成的磁一 光陷阱捕获冷却后的低速原子等技术 己取得突破 ，开始 了用磁场和光场操纵原子运动 ，使其堆积成纳米结 构的研究 【Il。由于这种技术只能制作单一点和线等周期性纳米结构 ，故本文提出用激光冷却技术 2【1和计 算全息技术操纵氖原子束运动 ，可制作任