瑞奇-康芒法中的一种数据处理方法.pdfVIP

维普资讯 第31卷第1期 光电工程 Vo1．31，No．1 2004年 1月 Opto．ElectronicEngineering 文章编号：1003-501X(2004)01—0023—03 瑞奇一康芒法中的一种数据处理方法 田秀云，吴时彬，伍 凡，陈 强，吴永前 (中国科学院光 电技术研究所，四川 成都 610209) 摘要：通过在光瞳面上取点的A-L-，找出被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系， 即影响函数。利用最小二乘法求解一组过定线性方程组，求得被检平面镜的面形误差，拟合出被 检平面面形。将其与干涉仪直接测得的面形相比较，发现两种方法得到的结果很接近。 关键词：瑞奇一康芒检验：面形测量；最小二乘法；影响函数 中图分类号：TB92 文献标识码：A A dataprocessingmethodinRitchey-Commontest TIANXiu-yun，WUShi-bin，WUFan，CHENQiang，WUYong-qian (InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademy ofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：Therelationbetweenform errorsoftheflatmirrorundertestandwave-frontaberrations，i．e．， influencefunction，can beobtained through samplingthepupilplane．A linearequation setcan be solvedbymeansofleastsquraemethod，thustheofmr errorsoftheflatmirrorundertestcan be obtmnedandthefomr oftheflatmirrorcanbefitted．Compraedwiththeofrm directlymeasuredwiht interferometer,theresultsobtainedwithbothmethodsraeapproximate． Keywords：Ritchey-Commontest；Form measurement；Leastsquraemethod；Influencefunction 引 言 用标准凹球面镜检测大平面镜面形误差的瑞奇一康芒方法是一种大家熟知的方法。此方法与其它方法 相比的优越之处是不需要像牛顿或斐索干涉仪那样使用基准样板。另外，瑞奇一康芒法使用的辅助镜为一 球面镜，比较容易制作和检验。1970年，H．D．Polster在假定被检平面只存在残余光焦度和初级像散的前提 下对检测结果作近似数据处理，实现了瑞奇一康芒的半定量检测。1983年，K．L．Shu提出了用计算机光线追 迹模拟检验光路，找出被检表面面形误差与系统出瞳面波像差之间的影响函数，进而求出被检表面面形误 差。如今，在国外，瑞奇一康芒的定量检测技术已经比较成熟，如美国亚利桑那光学中心和美国的威科公 司都己实现了瑞奇一康芒的定量检测，并且面形误差的测量精度还很高。在国内，高精度大口径平面镜的 检测通常采取两种方式：一种是子口径拼接法；另一种就是瑞奇一康芒的定性检测，这种定性检验包含了 球面镜面形误差和平面镜上不同入射角两次反射的面形误差，因而不能准确判断被检平面的面形情况。 1 光路图和检测原理 1．1 光路图 如图l所示，干涉仪准直光束经过标准干涉镜头变成了由焦点发散的光束，焦点好比一个点光源，位 于球面镜的曲率中心处。被检平面以一定的角度 0(亦称为瑞奇角，是系统光轴在平面镜上的入射角)插 入发散光束中。光束经球面镜反射，再经过平面镜，最后返回到干涉仪中，与干涉仪中参考球面反射回来 收稿 日期：2003-09—10：收到修改稿 日期：2003—10—22 基金项 目：国家高技术863课题资助 作者简介：田秀云 (1975一)，女(汉族)，辽宁朝阳人，硕士生．主要研究方向为高精度