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真空卷绕镀膜技术及设备的现状与发展.pdf
. .
真 空 VACUUM
年 月
2005 5 .2005
May
真空卷绕镀膜技术及设备的现状与发展
梁 勇
兰州真空设备有限责任公司 甘肃 兰州
( , 730050)
摘 要 综述了真空卷绕镀膜技术的现状和发展 真空卷绕镀膜技术的应用领域 现有真空卷绕镀膜设备的应
: 、 、
用分类及结构分类 真空卷绕镀膜设备典型的结构组成及设备设计的一些关键要素
、 。
关键词 卷绕镀膜 结构特征 设计要素
: ; ;
中图分类号: 43 文献标识码: 文章编号:1002-0322(2005)03-0006-05
TB A
Statusquoanddevelopmentoftechnologyandequipmentforvacuum film coilcoating
LIANG Yong
( ., , 730050, )
LanzhouVacuum EquipmentCo Ltd Lanzhou China
: .
AbstractReviewsthestatusquoanddevelopmentoftechnologyofvacuum film coilcoatinganditsapplications Classifies
,
thevacuum film coilcoatingequipmentinaccordancetotheirapplicationsandconstruction anddiscussesthekeyfactorsin
.
designofsometypicalfilm coilcoatingsystems
: ; ; ; ;
Keywordsfilm coilcoating construction equipmentkeyfactordesign
真空卷绕镀膜技术发展至今 已完全适应了现 应用磁控溅射原理的卷绕设备能够在基材上镀
,
代工业生产的需要 传统的真空卷绕普通装饰镀膜 制 等金属 非金属及其氧
。 、 、 、 、 、 、
ITO SiO In Cu NiTi
2
不断发展 并衍生出
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