18～20nm正入射宽带多层膜的研究.pdfVIP

第 卷 第 期 中 国 激 光 ) -- 4 )6 4-- 1235 72 年 月 )((( -- 6)((( 89:7;;=?@75ABA5;@ 72CDEFDG HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH -’I)( 正入射宽带多层膜的研究 ! JE 柯常军- 王 占山) 万重怡- 曹健林) - 中国科学院电子学研究所 北京 ) 中国科学院长春光机所应用光学 国家重点实验室 长春 -(((’(/ -0(())* 提要 采用随机数 的方法在 波段设计 了积分反射率最大 的宽带多层膜 理论上得到 了 -’I)( 6 JE 高于周期膜系 的积分反射率 同时带宽与视场范围有 明显的展宽 并用磁控溅射法进行 了初步 ’K 6 6 制备 对反射率 的相对测试表 明 与周期膜系相 比 非周期多层膜 的带宽展宽 但峰值反射率略有 + 6 6 6 降低 +膜厚控制是实验 的难点+ 关键词 软 射线 宽带多层膜 磁控溅射 L 6 6 - 引 言 近年来 随着软 射线多层膜技术的深入发展 多层膜 已成为软 射线天文望远镜 显微 6 L 6 L M 术 投影光刻 同步辐射等领域的重要光学元件 为在特定波长和入射角时获得最高反射率 这 M M + 6 些多层膜通常采用周期结构 它具有光谱带宽窄和视场小的特点 但在某些应用中 多层膜的 6 + 6 这种特性极为不利 特别是在某些带有多层膜的成像系统中 因为光通量的大小是成像质量好 + 6 坏的关键 +如采用 同步辐射和激光等离子体等宽带光源的成像系统需要尽可能高的积分反射 率 即光通量 来缩短成像时间 保证成像质量 在不便旋转镜面的天文装置 中为满足从不同 *6 6 + 角度观察的要求 需要较大的视场 因此要求研制相应的宽带多层膜 6 6 + P-Q